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µsprint全自動晶元檢測系統(tǒng)是專門為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的bump檢測而設(shè)計。Z大能夠自動檢測八寸晶元。bump的高度、直徑、體積、形狀以及平面度都能得到納米級精度的量測。

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