產(chǎn)品簡介
µsprint全自動(dòng)晶元檢測系統(tǒng)是專門為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的bump檢測而設(shè)計(jì)。Z大能夠自動(dòng)檢測八寸晶元。bump的高度、直徑、體積、形狀以及平面度都能得到納米級精度的量測。
詳細(xì)介紹
μsprint全自動(dòng)晶元檢測系統(tǒng)是專門為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的bump檢測而設(shè)計(jì)。zui大能夠自動(dòng)檢測八寸晶元。bump的高度、直徑、體積、形狀以及平面度都能得到納米級精度的量測。