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詳細(xì)介紹
便攜式共聚焦顯微系統(tǒng)應(yīng)用
μsurf系列用來(lái)測(cè)量表面物理形貌，進(jìn)行微納米尺度的三維形貌分析，如3D表面形貌、2D的縱深形貌、輪廓（縱深、寬度、曲率、角度）、表面粗糙度等。μsurf 主要對(duì)大型樣品進(jìn)行測(cè)試，在以下幾個(gè)行業(yè)中被眾多企業(yè)廣泛使用：
汽車行業(yè)
印刷和造紙行業(yè)
鋼鐵行業(yè)
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便攜式共聚焦顯微系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)
LED光源：λ= 505 nm, MTBF: 50,000 h
測(cè)量時(shí)間：5~10秒
測(cè)量原理：非接觸、共聚焦、可移動(dòng)，可以檢測(cè)大型的物體
X/Y方向移動(dòng)范圍：50mmX50mm，馬達(dá)驅(qū)動(dòng)，X/Y方向分辨率：0.3μm
Z方向移動(dòng)范圍：35mm
Z方向測(cè)量范圍：250μm，Z方向分辨率：< 10nm
物鏡：10X、20X、50X、100X(可選)
計(jì)算機(jī)：高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)，功能強(qiáng)大且全面的軟件，有拼接功能
工作電源：90-265 V, 50-60 Hz, input < 50 W（也可用電池做電源）
材質(zhì)：鋼鐵、橡膠、大理石
外型尺寸：380*110*115mm
重量：5.5KG（不含防震拉桿箱）
潔凈室等級(jí): Capability class 6 (according to DIN EN ISO 14644)