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產品簡介

適用于光學、半導體及FPD應用—島津UV-VIS-NIR分光光度計

是一款*的高靈敏度分光光度計，可進行深紫外區(qū)檢測，具備大樣品室，可滿足光學、半導體及FPD在以下方面的檢測需求。
FPD：
材料評估中NIR和大樣品的高靈敏度測定。
半導體：
短波長激光和12英寸晶片整體表面的深紫外區(qū)測定。
光通信：
減反射膜NIR高靈敏度測定。
光學：
從DUV到NIR再到大樣品的高靈敏度分析。

詳細介紹

光學組件需要對透光率及反射率進行高精度測定。SolidSpec-3700/37000DUV擁有三個檢測器，覆蓋的范圍從紫外區(qū)到近紅外區(qū)。通過使用InGaAs和冷卻型PbS檢測器提高近紅外區(qū)的靈敏度。從而得到從紫外區(qū)到近紅外區(qū)高精度和高靈敏度光譜。

傳統(tǒng)的分光光度計使用一個光電倍增管對紫外和可見區(qū)域進行檢測。但所有檢測器在檢測器轉換范圍內靈敏度較低，因此在此范圍檢測時無法實現(xiàn)高靈敏度測定。 SolidSpec-3700/3700DUV通過使用InGaAs檢測器可在轉換領域內進行高靈敏度檢測。

高靈敏度檢測

InGaAs檢測器和PbS 檢測器測定銳截止濾光片透過率的譜圖如下圖所示：SolidSpec-3700/3700DUV從850至1600nm范圍內實現(xiàn)了低噪音水平，與傳統(tǒng)的分光光度計相比，1300至1600nm范圍內，噪聲減少了四分之一。

SolidSpec-3700/3700DUV在1300-1500nm，在透過率小于1%的前提下，噪聲水平小于0.1%。此波長范圍的高靈敏度分析使SolidSpec-3700/3700DUV成為檢測低反射樣品的強有力工具，如在光傳輸中使用的防反射涂層及薄膜。

1500nm處的噪聲為世界*水平，小于0.00005Abs（狹縫寬度8nm，RMS），刪除使用直接受光單元DDU/DDU-DUV.小于0.00003Abs（狹縫寬度2nm，RMS）

隨著以ArF激發(fā)激光為代表的使用深紫外激光的高精度激光儀器的發(fā)展，提高了對光學材料深紫外區(qū)透過率和反射率的測定要求。

SolidSpec-3700DUV使用積分球時可在175nm-2600nm的范圍測定，而使用選配件直接受光單元DDU-DUV時可在165nm-3300nm的范圍測定。

使用此附件，可實現(xiàn)從深紫外區(qū)到近紅外區(qū)寬范圍的測定。

空氣中的氧分子會吸收190nm以下的深紫外光，需要使用氮氣吹掃光室和樣品室以除去氧分子的干擾。SolidSpec-3700DUV各單元都設有吹掃入口，可進行充分的氮氣吹掃，以實現(xiàn)深紫外區(qū)的高靈敏度和低雜散光。

為進行深紫外區(qū)的測定，檢測器的窗口和積分球內壁均使用不吸收深紫外光的材料，SolidSpec-3700DUV的PMT檢測器使用特制熔融石英作為窗口材料，積分球內壁使用深紫外區(qū)具有高反射性能的特殊樹脂。

深紫外區(qū)高靈敏度和低雜散光測定

深紫外區(qū)的高精度測定要求充足光通量和低雜散光。
右圖是使用直接受光單元DDU-DUV（選配）測定石英板的透過率光譜。
在紫外區(qū)域可得到超低噪聲的光譜。

SolidSpec-3700/3700DUV配有大樣品室，可使大樣品進行無損檢測。其內部尺寸為900W x 700D x 350H。
可測定的zui大樣品尺寸700W x 560D x 40H mm。樣品尺寸為12英寸或310 x 310 mm的樣品可用自動X-Y樣品臺（選配）
使用X-Y樣品臺的大樣品室

使用X-Y樣品臺測定12英寸硅片

自動檢測

為SolidSpec-3700/3700DUV研發(fā)的自動X-Y樣品臺可對提前點進行自動檢測，同時又可進行氮氣吹掃。

12英寸硅片上SiO2薄膜的反射光譜

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島津UV-VIS-NIR分光光度計

島津UV-VIS-NIR

DIKMA/迪馬科技

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上海市

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