主要特點(diǎn)：
1. 測(cè)量非常陡峭的斜面
2. 標(biāo)注真實(shí)的顏色信息
3. 測(cè)量高反射性的表面
4. 測(cè)量非常粗糙的表面
5. 高垂直分辨率的動(dòng)態(tài)調(diào)整

該儀器可以進(jìn)行的測(cè)量和分析有：
1. 形貌分析（高度、粗糙度.......）
2. 面積分析
3. 形狀分析（可測(cè)量非常復(fù)雜的幾何外形）
4. 體積分析（計(jì)算凹凸部分地體積）
5. 2D圖像分析
6. 通過(guò)腳本自動(dòng)測(cè)量（通過(guò)用戶和Alicona的簡(jiǎn)單編程來(lái)完成測(cè)量）
 

技術(shù)參數(shù)垂直分辨率：10nm
水平光學(xué)分辨率：400nm
水平取樣距離：90nm
zui大掃描高度：22mm
zui大掃描面積：10000mm2

InfiniteFocus是的全自動(dòng)變焦三維測(cè)量?jī)x，它的操作原理是小景深的光學(xué)系統(tǒng)與垂直掃描相結(jié)合，利用焦距變化提供形貌和色彩信息。新穎*的運(yùn)算法則把它重建成包含精確形貌信息的獨(dú)立的3D數(shù)據(jù)集，可追蹤的校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)可以驗(yàn)證測(cè)量結(jié)果。