表面掃描激光共焦位移計(jì)

LT-9000 系列

Z 軸掃描

0.3 μm 的出色分辨率實(shí)現(xiàn)高精度應(yīng)用

0.3 μm 的出色分辨率實(shí)現(xiàn)高精度應(yīng)用

高精度測量方式使用共焦原理和音叉

激光束穿過依靠音叉快速上下振動(dòng)的物鏡聚集在目標(biāo)表面。從目標(biāo)表面反射的光束匯集在小孔處，隨后進(jìn)入感光元件。通過測量光線進(jìn)入感光元件時(shí)物鏡的確切位置，就可以確定目標(biāo)高度。傳感器測量目標(biāo)表面的距離，不受目標(biāo)材質(zhì)、顏色或角度的影響。

共軸光學(xué)系統(tǒng)改善了測量性能

因同軸方式實(shí)現(xiàn)了高性能檢測

沒有在目標(biāo)表面形成焦點(diǎn)時(shí)

小部分接收光穿過小孔。

在目標(biāo)表面形成焦點(diǎn)時(shí)

所有接收光都穿過小孔。

微小的物體

為自動(dòng)化和傳感應(yīng)用提供的性能。

引線接合檢查

引線接合高度

LT-9000系列表面掃描激光共焦位移計(jì)可用于找尋引線接合器調(diào)整不或故障造成的焊接不足。其顯示器屏幕可以顯示放大 85倍的圖像，因此可以輕松進(jìn)行目標(biāo)定位。它采用了世界創(chuàng)新性的高精度表面掃描方法，zui小光點(diǎn)直徑可達(dá)2μm，即使是細(xì)導(dǎo)線也能使用該方法實(shí)現(xiàn)可靠測量。

表面狀況檢查

金剛石刀具表面輪廓

LT-9000 系列表面掃描激光共焦位移計(jì)可用于檢查切割晶片的金剛石刀具表面狀況，并控制金剛石層表面的粗糙度。測量分辨率為 0.3 µm，測量結(jié)果則可參照顯示器屏幕上的輪廓波形得出。它采用了世界創(chuàng)新性的高精度表面掃描方法，可確保測量刀具表面的輪廓。

刻印深度檢查

測量塑料上的字符刻印深度

LT-9000 系列表面掃描激光共焦位移計(jì)可用于測量 IC 塑料模具上用于顯示批號或日期等由激光刻印機(jī)刻印的字符深度。操作員可以觀察顯示器上放大85 倍的圖像，并以 0.3µm的測量分辨率對目標(biāo)進(jìn)行測量。移動(dòng)載物臺使其能測量刻印的深度和寬度。測量分辨率為0.3µm，測量結(jié)果則可參照顯示器屏幕上的輪廓波形得出。它采用了世界創(chuàng)新性的高精度表面掃描方法，可確保測量刀具表面的輪廓。

蝕刻深度檢查

測量晶片蝕刻深度

LT-9000 系列表面掃描激光共焦位移計(jì)可用于檢查在晶片上形成圖案的蝕刻的進(jìn)度。以 0.3 µm 的分辨率獲得的測量數(shù)據(jù)可在顯示器屏幕上顯示為輪廓波形。蝕刻深度或表面輪廓都可以輕松測量得出。它采用了世界創(chuàng)新性的高精度表面掃描方法，即便是鏡面目標(biāo)也能測量。

刻痕深度檢查

測量拉片的刻痕深度

LT- 9000 系列表面掃描激光共焦位移計(jì)可用于測量易拉罐上用于刻出拉環(huán)的凹槽輪廓。即使是用于反射度高的目標(biāo)，也可保持測量的穩(wěn)定性。操作員可以觀察顯示器上放大 85 倍的圖像，并以 0.3 µm 的測量分辨率對目標(biāo)進(jìn)行測量。移動(dòng)載物臺使其能測量刻痕的深度和寬度。測量分辨率為 0.3 µm，測量結(jié)果則可參照顯示器屏幕上的輪廓波形得出。它采用了世界創(chuàng)新性的高精度表面掃描方法，可確保測量刀具表面的輪廓。

透明物體厚度測量

應(yīng)用共焦原理，可以對透明物體表面條件和厚度進(jìn)行穩(wěn)定的測量。

 

可測量表面狀況、薄膜厚度及透明物 體厚度。此外，傾斜校正功能可使測 量更穩(wěn)定。

輪廓測量

可使用振蕩器對表面輪廓進(jìn)行準(zhǔn)確跟蹤。

 

可采用雙掃描法進(jìn)行表面輪廓測量 可測量兩點(diǎn)之間的高度差。

測量 PCB 上焊膏的輪廓

可測量無鉛焊錫的輪廓，以檢測裂痕、焊橋、未焊滿等異常。