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長(zhǎng)久以來(lái)，蔡司場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡GeminiSEM一直是高分辨力與寬樣品適用性的代名詞。無(wú)論您從事的研究方向是什么，GeminiSEM都可以滿足您的需求。創(chuàng)新的電子光學(xué)系統(tǒng)和新型樣品腔室設(shè)計(jì)可讓您擁有更佳的圖像質(zhì)量、易用性和靈活性。蔡司場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡GeminiSEM兼具出色的成像和分析能力，不依靠浸沒(méi)式物鏡依然可以輕松實(shí)現(xiàn)1 kV以下的亞納米級(jí)分辨力。以下內(nèi)容可以使您進(jìn)一步了解Gemini電子光學(xué)系統(tǒng)的三大設(shè)計(jì)，探索蔡司場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡GeminiSEM的應(yīng)用潛能。

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• 更靈活的成像工具 – 配備Gemini 1鏡筒的蔡司場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡GeminiSEM 360可以實(shí)現(xiàn)各種樣品的高分辨成像、分析和各種應(yīng)用需求的拓展。

• 更強(qiáng)大的分析能力 - 配備Gemini 2鏡筒的蔡司場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡GeminiSEM 460可應(yīng)對(duì)更加復(fù)雜的分析工作。連續(xù)可調(diào)的大束流使您可以在成像和分析條件之間無(wú)縫切換。

• 更好的表征體驗(yàn) - 蔡司場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡GeminiSEM 560配有Gemini 3鏡筒及其新型電子光學(xué)引擎，讓它在各種工作條件下均可發(fā)揮該系列分辨率特性。

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斯圖加特大學(xué)應(yīng)用量子技術(shù)中心ZAQuant的Mario Hentschel博士描述了該小組正在研究的課題和應(yīng)用、在實(shí)驗(yàn)室中面臨的挑戰(zhàn)以及如何利用蔡司場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡GeminiSEM 560應(yīng)對(duì)這些挑戰(zhàn)。

“我們正在研究光學(xué)感應(yīng)和檢測(cè)應(yīng)用中最復(fù)雜的微結(jié)構(gòu)和納米結(jié)構(gòu)。因此，我們必須在納米尺度檢查和表征我們的器件。深入了解樣品信息不僅是過(guò)程控制和優(yōu)化的核心，在解釋感應(yīng)和檢測(cè)方案中涉及的局部現(xiàn)象時(shí)也不可少。除了單純的表面形貌信息外，我們也對(duì)納米材料組成分以及有意和無(wú)意的局部雜質(zhì)感興趣。

"所有這些應(yīng)用都要求電子顯微鏡具有高分辨率與樣品適用性。蔡司場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡GeminiSEM 560可以很好地兼顧這兩點(diǎn)。它提供豐富的探測(cè)器選擇，從而能夠?qū)Ρ砻娓叩推鸱?、材料襯度、表面邊緣以及樣品的所有不同特征進(jìn)行成像和突出顯示。在日常工作中，我們經(jīng)常面對(duì)差異極大的樣品如形狀大小不同材料組成不同，給顯微表征帶來(lái)了很大的挑戰(zhàn)。我們能夠?qū)σ髽O為嚴(yán)苛且高難度的樣品（例如高度絕緣的聚合物和塑料）拍出高質(zhì)量的圖像，使荷電效應(yīng)的影響極小化。該系統(tǒng)可以在低倍和放大倍率下成像。在不久的將來(lái)，場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡GeminiSEM 560將被安裝在斯圖加特應(yīng)用量子技術(shù)中心（ZAQuant）新建研究大樓的潔凈室中。ZAQuant的主要研究人員來(lái)自物理、機(jī)械、電氣工程、化學(xué)等不同領(lǐng)域，其應(yīng)用千差萬(wàn)別，因此不僅要保持優(yōu)異的成像性能，還必須確保樣品適用性。因此，場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡GeminiSEM 560無(wú)疑將成為實(shí)驗(yàn)表征的利器。"

 DE.Mario Hentschel博士，德國(guó)斯圖加特大學(xué)第4物理研究所和應(yīng)用量子技術(shù)中心。