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激光功率傳感器是一種檢測(cè)器,它吸收激光束并輸出與光束功率成比例的信號(hào),通常根據(jù)zhi定標(biāo)準(zhǔn)以定義的精度進(jìn)行校準(zhǔn),并用作激光功率計(jì)的輸入。要使用的傳感器類型取決于被測(cè)激光束的各種細(xì)節(jié),包括功率水平、光譜區(qū)域、光束大小等。例如,用于測(cè)量從幾微瓦到高達(dá) 100 千瓦或更高功率的傳感器通?;诟鞣N類型的熱探測(cè)器,而基于光電二極管的探測(cè)器通常是低至納瓦或皮瓦的較低功率的選擇。
Ophir 提供兩種類型的功率傳感器:光電二極管傳感器和熱傳感器。
一、熱傳感器
熱電堆傳感器具有一系列雙金屬結(jié)。任何兩個(gè)結(jié)之間的溫差導(dǎo)致在兩個(gè)結(jié)之間形成電壓。由于結(jié)點(diǎn)是串聯(lián)的,而且“熱"結(jié)點(diǎn)總是在內(nèi)側(cè)、較熱的一側(cè),而“冷"結(jié)點(diǎn)在外側(cè)、較冷的一側(cè),盤上的徑向熱流會(huì)產(chǎn)生與功率輸入成正比的電壓。激光功率撞擊熱電堆傳感器盤的中心(在熱電堆的背面),徑向流動(dòng)并在外圍冷卻。熱電偶陣列測(cè)量與入射或吸收功率成正比的溫度梯度。原則,讀數(shù)不依賴于環(huán)境溫度,因?yàn)橹挥袦夭顣?huì)影響產(chǎn)生的電壓,而電壓差僅取決于熱流,而不取決于環(huán)境溫度。
由于吸收的所有熱量都流過熱電偶(只要激光束在熱結(jié)的內(nèi)圓內(nèi)),檢測(cè)器的響應(yīng)幾乎與光束大小和位置無關(guān)。如果光束靠近內(nèi)圓的邊緣,一些熱電偶會(huì)變得比其他熱電偶更熱,但由于測(cè)量了所有熱電偶的總和,因此讀數(shù)保持不變。
通常,Ophir 規(guī)定表面讀數(shù)均勻性為 ±2% 或更好。由于吸收的所有熱量都流過熱電偶(只要激光束在熱結(jié)的內(nèi)圓內(nèi)),檢測(cè)器的響應(yīng)幾乎與光束大小和位置無關(guān)。如果光束靠近內(nèi)圓的邊緣,一些熱電偶會(huì)變得比其他熱電偶更熱,但由于測(cè)量了所有熱電偶的總和,因此讀數(shù)保持不變。
二、光電二極管傳感器
光電二極管傳感器是一種半導(dǎo)體器件,可產(chǎn)生與光強(qiáng)度成正比的電流,并且在大范圍的光功率水平(從幾納瓦到約 2 毫瓦)內(nèi)具有高度線性。高于該光照水平,對(duì)應(yīng)于約 1mA 的電流,光電二極管中的電子密度變得過大,其效率降低,導(dǎo)致飽和和較低的讀數(shù)。大多數(shù) Ophir PD 傳感器都有一個(gè)內(nèi)置過濾器,可降低檢測(cè)器上的光級(jí),并允許測(cè)量高達(dá) 30mW 的功率而不飽和。大多數(shù)傳感器有一個(gè)額外的可拆卸過濾器,允許測(cè)量到 300mW 或 3 瓦,具體取決于型號(hào)。
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