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ZP3-4微納探針臺(tái)可在納米尺度上對(duì)樣品和測(cè)試設(shè)備進(jìn)行電學(xué)表征。

• 產(chǎn)品參數(shù)

△ 探針數(shù)量：4個(gè)探頭，每個(gè)探頭配備一個(gè)三軸探針臂;自由度：每個(gè)探頭獨(dú)立驅(qū)動(dòng)（X、Y、Z三自由度）;

△ 運(yùn)動(dòng)：壓電驅(qū)動(dòng)；

△ 步進(jìn)速度：2 mm/s（X，Y，Z）；

△ 運(yùn)動(dòng)范圍：20x20mm（X，Y），10mm（Z）；

△ 運(yùn)動(dòng)分辨率：1 nm （X、Y），10nm （Z）；

△ 探針規(guī)格：針柄直徑為0.51mm（0.020’’）;

• 產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

△ 快速、準(zhǔn)確、穩(wěn)定

ZP3-4微納探針臺(tái)包含4個(gè)壓電三軸探針臂，每個(gè)三軸配備1個(gè)可拆卸式電學(xué)探針接口，可在毫米級(jí)尺度上進(jìn)行宏觀運(yùn)動(dòng)并實(shí)現(xiàn)納米尺度上的微觀運(yùn)動(dòng)。

△ 使用場(chǎng)景多樣化

ZP3-4微納探針臺(tái)結(jié)構(gòu)緊湊，占用空間小，運(yùn)動(dòng)行程大，可匹配各種顯微鏡樣品臺(tái)，真空室，光學(xué)試驗(yàn)臺(tái)等工作條件。

△ 完善的技術(shù)解決方案

ZP3-4微納探針臺(tái)與尼康金相顯微鏡/SR-Scopel集成形成的探針臺(tái)電學(xué)測(cè)量系統(tǒng)，為宏觀行程上進(jìn)行的微觀尺度電學(xué)及表征測(cè)量提供了具體的解決方案。

△ 直觀、方便

ZP3-4微納探針臺(tái)通過(guò)手柄控制，具有多級(jí)宏觀調(diào)速，脈沖運(yùn)動(dòng)，以及位移微調(diào)功能，宏觀運(yùn)動(dòng)速度跨度在5um/s~2mm/s，單點(diǎn)脈沖步進(jìn)可達(dá)300nm以下，微調(diào)運(yùn)動(dòng)分辨率小于1nm，在顯微鏡下操作更直觀，方便，準(zhǔn)確。

△ 高度集成

ZP3-4微納探針臺(tái)電學(xué)測(cè)量系統(tǒng)，配備完善的光學(xué)顯微鏡模塊，配備亮度調(diào)節(jié)，增益和變焦等功能，與電腦連接后，可實(shí)現(xiàn)圖像快照，尺寸測(cè)量和標(biāo)注，視頻記錄等常規(guī)功能。