質(zhì)譜氣體分析儀是將同時進(jìn)入其中的不同質(zhì)量的離子，按質(zhì)荷比m/z大小分離的裝置。分離后的離子依次進(jìn)入離子檢測器，采集放大離子信號，經(jīng)計算機(jī)處理，繪制成質(zhì)譜圖。離子源、質(zhì)量分析器和離子檢測器都各有多種類型。

 

質(zhì)譜氣體分析儀的結(jié)構(gòu)及特點：

質(zhì)譜氣體分析儀除了在測量原理中介紹的質(zhì)量分離部件外，還包括以下幾部分。

1、離子源離子源的作用是把樣品中的原子（分子）電離成離子，目前已經(jīng)有十幾種離子源，分別采用粒子轟擊、場致電離、氣體放電、離子—分子反應(yīng)等工作原理。選用離子源時要考慮使用范圍、離子流的強(qiáng)度、穩(wěn)定度、角度分散和速度分散，以配合適當(dāng)?shù)馁|(zhì)量分離部件和檢測器。離子源是使試樣分子在高真空條件下離子化的裝置。電離后的分子因接受了過多的能量會進(jìn)一步碎裂成較小質(zhì)量的多種碎片離子和中性粒子。它們在加速電場作用下獲取具有相同能量的平均動能而進(jìn)入質(zhì)量分析器。

2、檢測器檢測器的作用是檢測從質(zhì)量部件中出來的電子，即接收離子后將其變成電流，或者濺射出二次電子且被逐級加速倍增后成為電信號輸出。檢測器一般采用法拉第筒、電子倍增檢測器、后加速式倍增檢測器。

3、真空系統(tǒng)真空系統(tǒng)的作用是使進(jìn)樣系統(tǒng)、離子源、質(zhì)量分離部件和檢測器保持一定的真空度，以保證離子在離子源及分析系統(tǒng)中沒有不必要的粒子碰撞、散射效應(yīng)、離子-分子反應(yīng)和復(fù)合效應(yīng)。

4、電學(xué)系統(tǒng)電學(xué)系統(tǒng)包括供電系統(tǒng)和數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)。