您好, 歡迎來到化工儀器網(wǎng)
判斷Plasma等離子清洗效果，方法都有哪些？
等離子清洗機(jī)(plasma cleaner)也叫等離子清潔機(jī)，或者等離子表面處理儀，是一種全新的高科技技術(shù)，利用等離子體來達(dá)到常規(guī)清洗方法無法達(dá)到的效果。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài)，也叫做物質(zhì)的第四態(tài)，并不屬于常見的固液氣三態(tài)。對(duì)氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、原子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素（亞穩(wěn)態(tài)）、光子等。等離子清潔機(jī)就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面，從而實(shí)現(xiàn)清潔、涂覆等目的。
等離子清洗機(jī)的應(yīng)用已經(jīng)非常非常廣泛，汽車制造、手機(jī)制造、玻璃光學(xué)、材料科學(xué)、電子電路、印刷造紙、塑料薄膜、包裝技術(shù)、醫(yī)療醫(yī)用、紡織工業(yè)、新能源技術(shù)、航天軍工、手表首飾等等。
那么，有哪些方法可以判斷Plasma等離子清洗機(jī)做表面處理的效果呢？
1、水滴角測(cè)試
水滴角測(cè)試是測(cè)試等離子體對(duì)產(chǎn)品有無處理效果的方法之一，水滴角測(cè)試可以體現(xiàn)出等離子對(duì)產(chǎn)品處理是否有效果，但不能夠*依靠此結(jié)果判斷是否已經(jīng)達(dá)到處理要求，特別是在去除Particle的工藝中，水滴角是無法測(cè)試出Particle是否被去除的。
水滴角測(cè)量?jī)x（接觸角測(cè)量?jī)x）
不同材質(zhì)的產(chǎn)品，等離子處理前和處理后的水滴角是不同的，這取決于被處理材質(zhì)的分子或組織結(jié)構(gòu)，不同材質(zhì)其初始表面能是*不同的，經(jīng)等離子處理后其表面發(fā)生的反應(yīng)也不相同，所以處理后的角度也是不統(tǒng)一的，特別是有機(jī)材料。
無機(jī)材料等離子處理時(shí)，其主要作用是清除表面油污、粗化表面等，其他影響因素較少，所以經(jīng)處理后的表面通常是變化比較大的，如表面光滑清潔，經(jīng)等離子處理后通常都能達(dá)到20°以下。
硅晶圓處理前41.83℃ 硅晶圓處理后12.54℃
有機(jī)材料種類繁多，其分子結(jié)構(gòu)非常復(fù)雜，且難以做到*統(tǒng)一。比如同樣是PP材質(zhì)，生產(chǎn)過程中管控不統(tǒng)一，所形成的分子結(jié)構(gòu)也會(huì)有所區(qū)別，如果添加了不同色母或其他填充物，那么其結(jié)構(gòu)就更復(fù)雜了，初始的表面能也會(huì)有較大的變化。從以上的舉例中我們也可以看到，不同的材料，其水滴角的初始角度和處理后的角度都是有很大區(qū)別的，尤其是一些成分較多的復(fù)合材料，其中含F(xiàn)的材料是難處理的。
水滴角是一種量化處理效果比較簡(jiǎn)單的方式，但需要根據(jù)被處理產(chǎn)品材質(zhì)的特點(diǎn)及實(shí)際使用要求，制定合理的測(cè)試方案。如是去除Particle的清洗，不建議使用水滴角測(cè)試去評(píng)測(cè)是否清洗干凈，水滴角是無法體現(xiàn)是否去除Particle的，只能判斷出是否提高了表面能，而且需要去除Particle的表面基本都是光滑清潔的表面，等離子處理后水滴角基本都是在20°以下。
注意：水滴角測(cè)試需統(tǒng)一每次測(cè)試的水滴大小，并確保測(cè)試用水無較大變化。
2、達(dá)因筆測(cè)試
達(dá)因，表面張力[英dyne]的單位，物體表面能的大小單位，達(dá)因值小，物體表面能低，達(dá)因值大，物體表面能大，表面能越大，吸附性越好，粘接和涂覆效果越佳；
達(dá)因筆可以直接測(cè)試物體表面能量的大小，使用方便可靠。
3、SEM掃描
電子掃描電鏡的簡(jiǎn)稱，可以將物體表面放大到幾千倍，將分子結(jié)構(gòu)的微觀圖片拍攝出來。
4、紅外線掃描
利用紅外線測(cè)試設(shè)備，能測(cè)試出工件經(jīng)過等離子處理前后，工件表面極性基團(tuán)和元素成份組合狀況。
5、拉力（推力）測(cè)試
對(duì)于用于粘接的產(chǎn)品來講，這種方法是可靠的。
6、高倍顯微鏡觀察法
適用于要求去除Particle的相關(guān)產(chǎn)品。
7、切片法
適用于續(xù)作切片觀察的行業(yè)，例如PCB和FPC加工行業(yè)，通過制作切片，利用晶相顯微鏡觀察和測(cè)量線路板孔內(nèi)的刻蝕效果。
8、稱重法
尤其適合檢測(cè)等離子對(duì)材料表面進(jìn)行刻蝕和灰化后的效果，主要目的是驗(yàn)證等離子處理設(shè)備的均勻性，這是比較高的指標(biāo)，一般國(guó)內(nèi)設(shè)備均勻性都不夠理想。
