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擴散泵返油怎么辦,如果真空規(guī)管沒有損壞,返油一般是不需要修理的,主要清洗真空室內(nèi)擴散泵的
油。使用汽油把真空室壁全部擦一遍再用酒精擦一遍。油一定要清干凈是zui關(guān)鍵的,如果室內(nèi)還
有油的存在,就會出現(xiàn)鍍白膜,膜層質(zhì)量很不好等現(xiàn)象,并不是因為電鍍設(shè)備的損壞,而是因為真空
室有油。
1、冷卻水路不通暢或水壓不夠,導(dǎo)致冷卻能力下降,擴散泵上半部分變熱,油蒸汽不能良好液化。解
決辦法將擴散泵進水管接以4mpa的氣源,吹出水垢,接出水管同樣以4mpa吹。若水垢結(jié)的很多并且
牢固,可通入稀鹽酸?;蛘吒鼡Q擴散泵。
2、加熱溫度過高,由于擴散泵加熱器功率與額定功率不符,過高,造成蒸汽量大,可造成返油,更換
電爐絲可解決。
3、加油量過高,加油量高容易導(dǎo)致蒸汽量循環(huán)緩慢,向下級壓縮時滯留,造成返油,根據(jù)廠家提供信
息進行加油量的控制可避免。
4、油氧化,擴散泵油氧化后,粘稠度和蒸汽流都受到影響,達不到噴射速度,自然就返到真空室內(nèi)。
可講擴散泵拆下,將泵心取出,用120#汽油進行清洗,然后打磨,將結(jié)碳和黑色氧化層打磨掉,再次
用120#汽油清洗、晾干,然后安裝,倒入擴散泵油或硅油,加熱幾次以后才可以投入工作。防止污染
工件。
5、若擴散泵服役時間超過8-10年,或在惡劣的環(huán)境下使用,可考慮更換。提高工作效率及維護成
本。