目錄:上海爾迪儀器科技有限公司>>Diener>>等離子表面處理儀>> Tetra42Diener 等離子去膠機
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,生物產(chǎn)業(yè),農(nóng)業(yè) |
|---|---|---|---|
| 控制方式 | 全自動控制（自動/手動切換） | 工藝氣體 | O2、Ar、N2、CF4、SF6等 |
| 工藝氣路 | 1-10 | 流量計 | MFC |
| 真空腔體 | 鋁合金350x350x350 | 真空腔體容積 | 42L |
| 樣品臺 | 旋轉(zhuǎn)樣品臺 | 外形尺寸 | W600xD850xH1700mm |
Diener 等離子去膠機 Tetra42
·便捷的觸摸屏操作界面
·專用軟件支持自動/手動操作模式可切換（自動模式下可儲存多套工藝程序），支持操作權(quán)限分級設(shè)定
·數(shù)字及圖形化工藝參數(shù)控制及實時顯示
·支持6＂/8＂/12＂ wafer的去膠清洗
·安全及異常報警功能
·多語言：法語、英語，德語，中文
· 去除光刻膠
· 干刻或濕刻處理前或后
· SU-8或其他環(huán)氧基樹脂
· MEMS制造中去除犧牲層
· 去除光刻膠，SU-8，環(huán)氧樹脂
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