真空負(fù)壓檢漏儀。其Z大特點是體積小(5kg)攜帶
方便，可檢漏率小，工作真空度低，反映時間快，
能準(zhǔn)確定位等特點。其主要運用于真空爐，真空鍍
膜機、真空設(shè)備、低溫容器、中央空調(diào)真空系統(tǒng)等
各種設(shè)備檢漏。工作時只需機械泵排氣，讓被檢設(shè)
備保持負(fù)壓即可檢漏。其工作原理與氦質(zhì)譜
類似。但工作真空度大大低于氦質(zhì)譜，且檢
漏成本也低于氦質(zhì)譜。