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更新時間:2024-06-13 10:09:39瀏覽次數(shù):1744次
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涂布層四探針測試儀計算公式
按照硅片電阻率測量的標(biāo)準(zhǔn)(ASTM F84)及標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計制造該儀器設(shè)計符合GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》、GB/T 1551-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流兩探針法》、GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn),本機配置232電腦接口及USB兩種接口,本機結(jié)合采用范德堡測量原理能改善樣品因幾何尺寸、邊界效應(yīng)、探針不等距和機械游移等外部因素對測量結(jié)果的影響及誤差,比市場上其他普通的四探針測試方法更加完善和進步,特別是方塊電阻值較小的產(chǎn)品測量,更加準(zhǔn)確.
涂布層四探針測試儀計算公式
本儀器本儀器采用四探針單電測量法適用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門,是檢驗和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料質(zhì)量的一種重要的工具。本儀器配置各類測量裝置可以測試不同材料。液晶顯示,無需人工計算,并帶有溫度補償功能,電阻率單位自動選擇,儀器自動測量并根據(jù)測試結(jié)果自動轉(zhuǎn)換量程,無需人工多次和重復(fù)設(shè)置。采用高精度AD芯片控制,恒流輸出,結(jié)構(gòu)合理、質(zhì)量輕便,運輸安全、使用方便;選配:配備軟件可以由電腦操控,并保存和打印數(shù)據(jù),自動生成報表;本儀器采用4.3吋大液晶屏幕顯示,同時顯示液晶顯示:電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率,配置不同的測試治具可以滿足不同材料的測試要求。測試治具可以根據(jù)產(chǎn)品及測試項目要求選購.
規(guī)格型號 | FT-331 | FT-332 | FT-333 | FT-334 | FT-335 | FT-336 |
1.方塊電阻范圍 | 10-4~2×105Ω/□ | 10-4~2×103Ω/□ | 10-3~2×105Ω/□ | 10-3~2×103Ω/□ | 10-2~2×105Ω/□ | 10-2~2×103Ω/□ |
2.電阻率范圍 | 10-5×106cm | 10-5×104-cm | 10-4~2×106Ω-cm | 10-4~2×104-cm | 10-3~2×106Ω-cm | 10-3~2×104-cm |
3.測試電流范圍 | 0.1μA ,1μA,10μA,100μA,1mA,10mA,100 mA | 10μA,100μA,1mA,10mA,100 mA | 0.1μA ,1μA,10μA,100μA,1mA,10mA,100 mA | 10μA,100μA,1mA,10mA, 100 mA | 0.1μA,1μA,10μA,100μA,1mA,10mA,100 mA | 1μA,10μA,100μA,1mA,10mA,100 mA |
4.電流精度 | ±0.1%讀數(shù) | ±0.2%讀數(shù) | ±0.2%讀數(shù) | ±0.3%讀數(shù) | ±0.3%讀數(shù) | ±0.3%讀數(shù) |
5.電阻精度 | ≤0.3% | ≤0.3% | ≤0.3% | ≤0.5% | ≤0.5% | ≤0.5% |
6.顯示讀數(shù) | 液晶顯示:電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率 | |||||
7.測試方式 | 普通單電測量 | |||||
8.工作電源 | 輸入: AC 220V±10% ,50Hz 功 耗:<30W | |||||
9.整機不確定性誤差 | ≤4%(標(biāo)準(zhǔn)樣片結(jié)果) | |||||
10.選購功能 | 選購1.pc軟件; 選購2.方形探頭; 選購3.直線形探頭; 選購4.測試平臺 |
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