薄膜方塊電阻率測試使用說明

本儀器本儀器采用四探針單電測量法適用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門，是檢驗和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料質(zhì)量的一種重要的工具。本儀器配置各類測量裝置可以測試不同材料。液晶顯示，無需人工計算，并帶有溫度補償功能，電阻率單位自動選擇，儀器自動測量并根據(jù)測試結(jié)果自動轉(zhuǎn)換量程，無需人工多次和重復(fù)設(shè)置

薄膜方塊電阻率測試使用說明

參數(shù)資料

1.方塊電阻范圍：10-2～2×105Ω/□

2.電阻率范圍：10-3～2×106Ω-cm

3.測試電流范圍：0.1μA，1μA，10μA，100μA，1mA，10mA，100 mA

4.電流精度：±0.3%讀數(shù)

5.電阻精度：≤0.5%

6.顯示讀數(shù)：液晶顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率

7.測試方式: 普通單電測量

8.工作電源: 輸入: AC 220V±10% ,50Hz  功 耗：<30W

9.整機不確定性誤差: ≤4%（標(biāo)準(zhǔn)樣片結(jié)果）

10.選購功能: 選購1.pc軟件； 選購2.方形探頭； 選購3.直線形探頭； 選購4.測試平臺

11.測試探頭：   探針間距選購：1mm；2mm；3mm三種規(guī)格; 探針材質(zhì)選購：碳化鎢針;白鋼針；鍍金磷銅半球形針

ROOKO/瑞柯品牌，來自瑞柯儀器公司，一個專注于改變?nèi)藗兩罘绞胶推焚|(zhì)的企業(yè).

專業(yè)與精致并重；與智慧之原