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本測(cè)試裝置為綜合性測(cè)試系統(tǒng),設(shè)計(jì)為測(cè)試臺(tái)結(jié)構(gòu),主要由先進(jìn)的多功能樣品夾具,高精度數(shù)字電壓表、寬量程高穩(wěn)定直流恒定電流源,微處理機(jī)系統(tǒng)等部分組成,多功能樣品夾具由特殊導(dǎo)電合金精密加工而成,接觸良好,導(dǎo)電性能好,具有定位精度高等特點(diǎn),高精度數(shù)字電壓表靈敏度高、用LED 4 1/2位數(shù)字顯示。
四探針電阻率測(cè)試儀的其它功能,按儀器說(shuō)明書(shū)的指標(biāo)要求進(jìn)行檢查,判斷是否合格。按儀器說(shuō)明書(shū)的要求,在電阻率測(cè)試儀測(cè)量范圍內(nèi),選擇相對(duì)就的標(biāo)準(zhǔn)樣片作為被測(cè)對(duì)象對(duì)標(biāo)準(zhǔn)樣片中心點(diǎn)(0.25mm以?xún)?nèi))的電阻率進(jìn)行正反向各10次測(cè)量,并按(11)式計(jì)算電阻率的相對(duì)誤差。對(duì)探針壓痕直徑及其間距的檢定,其要求和方法與探針檢定相同。
用標(biāo)準(zhǔn)樣片檢定電阻率測(cè)試儀,由檢定結(jié)果中找出zui大的相對(duì)誤差,如果zui大相對(duì)誤差超過(guò)儀器標(biāo)定的準(zhǔn)確度,則說(shuō)明儀器超差。對(duì)于檢定后的各項(xiàng)指標(biāo)都合格的電阻率測(cè)試儀,出具檢定合格證書(shū)。在證書(shū)中注明標(biāo)準(zhǔn)樣片的實(shí)際值和測(cè)量值,給出測(cè)量的誤差值,給出探針頭的修正系數(shù)。如果用戶(hù)要求給出全部探針指標(biāo),也可近十萬(wàn)大山 要給出全部探頭指標(biāo),若探頭為不合格,則必須指出哪項(xiàng)指標(biāo)或n項(xiàng)指標(biāo)不合格。對(duì)自動(dòng)或半自動(dòng)電阻率測(cè)試儀,只要有一項(xiàng)功能不合格要求時(shí),就按不合格儀器處理。對(duì)于檢定后的有一項(xiàng)以上指標(biāo)不合格的電阻率測(cè)試儀,出具檢定結(jié)果通知書(shū)并在通知書(shū)中注明不合格項(xiàng)目。此外在檢定證書(shū)或通知書(shū)中一股不用給檢定總不確定度,若用戶(hù)需要可滿(mǎn)足用戶(hù)要求。但必須注明,檢定時(shí)的溫度、、相對(duì)溫度及實(shí)驗(yàn)室條件等項(xiàng)目。對(duì)檢定后不合格的電阻率測(cè)試儀經(jīng)修理后仍需要重新按檢定要求檢定。
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