四探針電阻率測(cè)試儀示值基本誤差的檢定有兩種檢定方法，用標(biāo)準(zhǔn)樣片的整體檢定方法和用模擬電路的分部件檢定法。可用其中任何一種方法進(jìn)行檢定。用硅單晶電阻率標(biāo)準(zhǔn)樣片對(duì)電阻率測(cè)試儀進(jìn)行整體檢定注：一般分為方塊電阻檢定和電阻率檢定，對(duì)于只能測(cè)量方塊電阻的測(cè)試儀就對(duì)該儀器進(jìn)行方塊電阻檢定。對(duì)于既能測(cè)試方塊電阻又能測(cè)電阻率的電阻率測(cè)試儀，可對(duì)電阻率進(jìn)行檢定。如果用戶(hù)提出只對(duì)方塊電阻進(jìn)行檢定也可以只檢方塊電阻。

檢定的四探針電阻率測(cè)試儀應(yīng)作絕緣電阻的測(cè)量。在儀器的探針之間或探針與儀器外殼之間可用遙表或其它方法測(cè)量其絕緣電阻，測(cè)量時(shí)工作電壓為（100～500）V, 絕緣電阻值不得低于500MΩ。檢定的電阻率測(cè)試儀，可進(jìn)行絕緣強(qiáng)度即耐壓試驗(yàn)，要求電流輸入端與機(jī)殼間應(yīng)能承受1500V(有效值)交流電壓，歷時(shí)1min，無(wú)擊穿與飛弧現(xiàn)象。對(duì)此項(xiàng)試驗(yàn)由送檢單位提出申請(qǐng)后方可進(jìn)行，如未做耐壓試驗(yàn)則應(yīng)在檢定證書(shū)上注明。 

將被檢儀器的電流值調(diào)到標(biāo)準(zhǔn)樣片允許通過(guò)作用的電流值以?xún)?nèi)，對(duì)12個(gè)標(biāo)準(zhǔn)樣片進(jìn)行測(cè)量，每個(gè)樣片在反電流的情況下各測(cè)10次，每正反向測(cè)量一次將樣片轉(zhuǎn)動(dòng)20°～30°，共計(jì)沒(méi)得20個(gè)數(shù)據(jù)。通常以電壓表讀數(shù)在10mV左右。用標(biāo)準(zhǔn)樣片檢定四探針電阻率測(cè)試儀，由檢定結(jié)果中找出zui大的相對(duì)誤差，如果zui大相對(duì)誤差超過(guò)儀器標(biāo)定的準(zhǔn)確度，則說(shuō)明儀器超差。分部件檢定的電阻率測(cè)試儀。對(duì)于檢定后的各項(xiàng)指標(biāo)都合格的電阻率測(cè)試儀，出具檢定合格證書(shū)。在證書(shū)中注明標(biāo)準(zhǔn)樣片的實(shí)際值和測(cè)量值，給出測(cè)量的誤差值，給出探針頭的修正系數(shù)。

如果要求給出全部探針指標(biāo)，也可近十萬(wàn)大山要給出全部探頭指標(biāo)，若探頭為不合格，則必須指出哪項(xiàng)指標(biāo)或n項(xiàng)指標(biāo)不合格。對(duì)自動(dòng)或半自動(dòng)電阻率測(cè)試儀，只要有一項(xiàng)功能不合格要求時(shí)，就按不合格儀器處理。對(duì)于檢定后的有一項(xiàng)以上指標(biāo)不合格的電阻率測(cè)試儀，出具檢定結(jié)果通知書(shū)并在通知書(shū)中注明不合格項(xiàng)目。此外在檢定證書(shū)或通知書(shū)中一股不用給檢定總不確定度，若用戶(hù)需要可滿(mǎn)足用戶(hù)要求。但必須注明，檢定時(shí)的溫度、、相對(duì)溫度及實(shí)驗(yàn)室條件等項(xiàng)目。對(duì)檢定后不合格的電阻率測(cè)試儀經(jīng)修理后仍需要重新按檢定要求檢定。檢定周期電阻率測(cè)試儀的檢定周期一般不超過(guò)1年，送檢時(shí)需要攜帶上一次檢定證書(shū)。