紅外成像光學(xué)系統(tǒng)是實(shí)現(xiàn)高畫質(zhì)紅外/熱成像的重要環(huán)節(jié)。與可見光成像光學(xué)系統(tǒng)相比,光學(xué)系統(tǒng)更復(fù)雜也更困難。紅外輻射的波長比可見光的大一個(gè)數(shù)量級,容易發(fā)生衍射;紅外光學(xué)材料的折射率大且種類較少,用不同材料組合進(jìn)行光學(xué)像差校正的選擇范圍??;因此對光學(xué)系統(tǒng)與元件面形的設(shè)計(jì)與加工要求更高。
紅外熱成像儀的工作原理,是利用紅外探測器和光學(xué)成像物鏡接收被測目標(biāo)的紅外輻射能量分布圖形,反映到紅外探測器的光敏元件上,從而獲得紅外熱像圖,這種熱像圖與物體表面的熱分布場相對應(yīng)。簡單來說紅外熱像儀就是將物體發(fā)出的不可見紅外能量輻射轉(zhuǎn)變?yōu)榭梢姷臒釄D像,熱圖像上不同顏色代表被測物體的不同溫度。目前紅外熱成像技術(shù)已經(jīng)較多應(yīng)用于電力、冶金、石化、機(jī)械、醫(yī)療、質(zhì)量控制、監(jiān)控等領(lǐng)域。
在紅外顯微鏡和紅外成像系統(tǒng)測試中,通過特殊設(shè)計(jì)的光學(xué)系統(tǒng)將測量光束直徑縮小到微米甚至亞微米量級,從而可測試尺寸非常小的樣品或者是大尺寸樣品中非常小的區(qū)域,顯然此時(shí)光通量遠(yuǎn)遠(yuǎn)小于常規(guī)紅外光譜儀,若要獲得高的信噪比,對整體光學(xué)系統(tǒng)的光路系統(tǒng)要求相應(yīng)也有很大的很高,通常需要多個(gè)光學(xué)聚焦鏡(卡塞格林鏡)聯(lián)合使用,才能保證紅外光同軸,且能量損失zui小。
在紅外顯微鏡和系統(tǒng)的光通量遠(yuǎn)低于常規(guī)紅外光譜儀,且掃描速度較快,常規(guī)紅外檢測器不能滿足要求,無論是單點(diǎn)還是圖像分析,均需要使用液氮冷卻的MCT檢測器以保證在快速測量時(shí)的高信噪比。此處需要說明,雖然測試速度比較慢,但是單點(diǎn)檢測器的信噪比更高、測量光譜范圍更寬。