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高真空蒸發(fā)鍍膜儀返回列表頁(yè)

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產(chǎn)品型號(hào):-GSL-1800X-ZF4

品牌:

廠商性質(zhì):代理商

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所在地:上海市

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更新時(shí)間：2024-08-17 20:35:34瀏覽次數(shù)：4734次

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產(chǎn)品分類品牌

合肥科晶總代理: CVD 真空氣氛管式爐鈣鈦礦太陽(yáng)能電池實(shí)驗(yàn)室制備線退火爐晶體及材料新型設(shè)備真空管式爐研磨拋光機(jī)系列金剛石線切割機(jī)系列真空感應(yīng)熔煉爐材料、混料、球磨設(shè)備等離子清洗機(jī)系列壓力機(jī)系列干燥箱系列手套箱系列電池制備全套設(shè)備及解決方案薄膜制備全套設(shè)備及解決方案

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

GSL-1800X-ZF4是一款高真空的蒸發(fā)鍍膜儀，特別適合蒸鍍一些對(duì)氧較敏感的金屬膜，如Ti, Al 和Au等，也可蒸鍍各種氧化物材料。此款蒸鍍儀安裝有4個(gè)蒸鍍加熱頭.對(duì)于實(shí)驗(yàn)研究，這是一款鍍膜效果理想并且性價(jià)比較高的實(shí)驗(yàn)設(shè)備。

詳情介紹

技術(shù)參數(shù)

電壓	輸入：208 - 240VAC, 20 A, 50/60 Hz, 單相 ( < 3200W ) 輸出： 0 - 8VAC （可調(diào)）大電流： 400A （可調(diào)）大功率：4000W（包括真空泵）
真空腔體	不銹鋼腔體：280mm ID. x 375 mm H，腔體內(nèi)壁做了電拋光處理有一個(gè)150mm的觀察窗口（采用無(wú)氧銅密封圈密封）一個(gè)RF-150法蘭，便于放入樣品。一個(gè)KF-40法蘭,可與真空泵相連接四個(gè)CF-35法蘭，便于安裝真空計(jì)、電極和其他用途備用
真空泵	儀器中包括一臺(tái)高抽速的渦輪分子泵和前級(jí)泵前級(jí)泵抽速：600L/S 真空度：5.0x10-6 torr（泵開啟后40分鐘）極限真空度：5.0x10-7 torr（烘烤溫度為60-80℃）漏氣率：5.0x10-7Pa./S
蒸發(fā)加熱源樣品臺(tái)	5個(gè)水冷電極安裝在腔體底部，可支持4個(gè)鎢加熱舟每個(gè)鎢舟上面安裝有可移動(dòng)的擋板，所以實(shí)驗(yàn)時(shí)可以防止各物料之間的污染，樣品臺(tái)安裝在真空腔體頂部，直徑為150mm 樣品臺(tái)可以旋轉(zhuǎn)和加熱，旋轉(zhuǎn)速度0-20rpm，加熱高溫度600℃ 蒸發(fā)源與樣品臺(tái)的距離為250mm
測(cè)厚儀	一個(gè)高分辨度的薄膜測(cè)厚儀安裝在腔體內(nèi)部測(cè)量精度為：1.0Å
循環(huán)水冷機(jī)	儀器使用過(guò)程中需要通冷卻水，為了節(jié)約用水，強(qiáng)烈建議使用循環(huán)水冷機(jī) 所需水流量>15L/min
控制單元	真空、厚度和輸入電源控制全部集合在一個(gè)控制盒內(nèi) 控制單元和真空腔體獨(dú)立分開，以便于操作
外形尺寸	L600mm× W860mm× H1500mm
凈重	600kg
質(zhì)保	一年質(zhì)保期，終生維護(hù)
質(zhì)量認(rèn)證	CE認(rèn)證