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上海添時科學(xué)儀器有限公司

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參考價：面議

具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號:TCVD--OTF-1200X-S2-5

品牌:

廠商性質(zhì):代理商

所在地:上海市

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更新時間：2024-08-17 18:27:35瀏覽次數(shù)：2623次

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合肥科晶總代理: CVD 真空氣氛管式爐鈣鈦礦太陽能電池實驗室制備線退火爐晶體及材料新型設(shè)備真空管式爐研磨拋光機系列金剛石線切割機系列真空感應(yīng)熔煉爐材料、混料、球磨設(shè)備等離子清洗機系列壓力機系列干燥箱系列手套箱系列電池制備全套設(shè)備及解決方案薄膜制備全套設(shè)備及解決方案

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產(chǎn)品簡介

OTF-1200X-S2-50SL是一款小型的雙爐體滑動管式爐，爐管為Φ50×1400mm的石英管，并配有不銹鋼密封法蘭，儀器Z高溫度可以達到1200℃。兩個爐體可在滑軌上滑動，實現(xiàn)對原材料的蒸發(fā)/升華，及薄膜沉積。通過爐體的滑動可實現(xiàn)對樣品快速加熱，Z大升溫速率為100℃/min.同時可選擇電動滑軌、質(zhì)量流量計（MFC）控制的供氣系統(tǒng)和等離子射頻電源來搭建TCVD系統(tǒng)。

詳情介紹

OTF-1200X-S2-50SL是一款小型的雙爐體滑動管式爐，爐管為Φ50×1400mm的石英管，并配有不銹鋼密封法蘭，儀器高溫度可以達到1200℃。兩個爐體可在滑軌上滑動，實現(xiàn)對原材料的蒸發(fā)/升華，及薄膜沉積。通過爐體的滑動可實現(xiàn)對樣品快速加熱，大升溫速率為100℃/min.同時可選擇電動滑軌、質(zhì)量流量計（MFC）控制的供氣系統(tǒng)和等離子射頻電源來搭建TCVD系統(tǒng)。

技術(shù)參數(shù)

爐體結(jié)構(gòu)

兩個爐體在一個滑動軌道上，爐體高工作溫度1200℃
每個爐體加熱區(qū)為200mm,恒溫區(qū)為60mm
一個滑動軌道安裝在兩爐體底部，可手動推動爐體滑動
儀器中配有不銹鋼密封法蘭

總功率

2.5KW

電壓

AC 208-240V 單相, 50/60 Hz, （需要20A的空氣開關(guān)）

高工作溫度

1200℃

連續(xù)工作溫度

1100℃

加熱&冷卻速率

加熱速率:

15°C/sec (RT - 150°C);

10°C/sec (150°C - 250°C);

7°C/sec (250°C - 350°C);

4°C/sec (350°C - 500°C);

3°C/sec (350°C - 550°C);

  2°C/sec (550°C - 650°C);
  1°C/sec (650°C - 800°C);
  0.5°C/sec (800°C - 1000°C);

冷卻速率:

15°C/sec (1000 - 950°C);

10°C/sec (950°C - 900°C);

7°C/sec (900°C - 850°C);

4°C/sec (850°C - 750°C);

2°C/sec (750°C - 600°C);
1.5°C/sec (600°C - 500°C);
1°C/sec (500°C - 400°C);
0.5°C/sec (400°C - 300°C);

注意:

大加熱和冷卻速率是通過爐體滑動來實現(xiàn)的，將爐體加熱到目標溫度，然后滑動爐體到樣品位置來實現(xiàn)快速加熱。對樣品加熱后，滑動爐體，使樣品暴露在加熱區(qū)外，來實現(xiàn)快速冷卻

加熱區(qū)長度

每個爐體的加熱區(qū)為200mm

恒溫區(qū)

60 mm (+/-1°C @ 400-1200°C)

加熱元件

摻鉬鐵鉻鋁合金

爐管

高純石英管
尺寸：50mm O.D x 44mm I.D x1400 mmL

溫度控制系統(tǒng)

兩個爐體都采用PID方式來調(diào)節(jié)溫度，可設(shè)置30段升降溫程序。
控溫儀表操作視頻
設(shè)置有超溫和斷熱偶報警
包括2個K型熱電偶（已安裝在爐體上）
可選:可選擇控制模塊MTS-02，可使用電腦來控制爐體的升降溫
（點擊圖片查看詳細資料）

真空法蘭

儀器中包含一對不銹鋼密封法蘭，法蘭上安裝有機械壓力表
可選購KF25接口的法蘭（提高抽氣速率)，數(shù)顯真空計

滑軌長度

1200mm

真空度

10E-5 torr（采用分子泵）
10E-2 torr（采用機械泵）
可在本公司選購真空泵

可選

可選擇電動滑軌，更好的控制快速升降溫速率
1-9通道質(zhì)量流量計（MFC）控制的供氣系統(tǒng)
100W-500W的射頻等離子源
這些模塊與管式爐配合可搭建起等離子增強的TCVD系統(tǒng)

尺寸

1500 x 380 x 620 mm（爐體＋滑軌）

凈重

約80kg

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期，終身維護（不包括爐管、密封圈和加熱元件）

質(zhì)量認證

CE認證
所有電器元件（輸入電壓>24V）都通過了UL/MET/CSA認證
本公司保證此設(shè)備通過TUV(UL61010）或CSA認證（需額外出認證費用）

使用注意事項

爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加安全
進入爐管的氣體流量需小于200SCCM
當(dāng)爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)