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HORIBA SEC-N100系列質(zhì)量流量控制器
適用于多種不同的產(chǎn)業(yè)應(yīng)用。可實現(xiàn)大范圍控制從10SCCM至1000SLM。此款MFC包含多種不同通訊方式（數(shù)字式/模擬式， CC-Link®, PROFIBUS™, 以及 EtherCAT®），高精度（± 1.0% S.P. *1），快速響應(yīng)。
產(chǎn)品簡介
詳細介紹
HORIBA SEC-N100系列質(zhì)量流量控制器
HORIBA提供多種不同類型的氣體質(zhì)量流量控制器以滿足客戶不同的需求。所有產(chǎn)品都擁有高精度、快速響應(yīng)的特性。多種不同類型的氣體質(zhì)量流量控制器皆擁有寬泛的流量范圍，客戶可選擇適合的類型。我們可提供三種閥門，客戶可選擇熱式閥門、電磁線圈閥門、或者壓電陶瓷閥。同樣我們也可提供多種不同的通訊方式，包括模擬式、數(shù)字式、DeviceNet™ (*1), 以及PROFIBUS™(*2) (取決于產(chǎn)品型號)。我們產(chǎn)品的流量范圍可覆蓋微量流量直至超大流量。
特征
- 大范圍控制，從微小流量至大量程，10SCCM~1000SLM
- 多種通訊方式及電源供給
HORIBA SEC-N100系列質(zhì)量流量控制器
n數(shù)字式/ 模擬式通信
lRS-485/DeviceNet/Profibus/模擬式（電流/電壓）
l可與其它系列產(chǎn)品兼容
n復(fù)合氣體 / 復(fù)合量程
l可以方便的在客戶端更改對應(yīng)氣體和量程
n高精度控制： ±1.0% 設(shè)定流量.
l選用與SEC-Z500系列相同的sensor和bypass.
n快速響應(yīng)： 在可控流量范圍內(nèi),響應(yīng)時間≦1 sec
l內(nèi)置PID參數(shù)，可以調(diào)整響應(yīng)時間
n氣閥種類
l 電磁閥 (~50SLM)
l 壓電陶瓷閥 (100/200SLM)
n密封圈材質(zhì) ：橡膠 或 金屬
n氣路表面 ： 未經(jīng)拋光處理
n接口 ： 僅有VCR接口
nRoHS要求： 滿足RoHS要求
氣體質(zhì)量流量控制器&氣體流量計
HORIBA提供多種不同類型的氣體質(zhì)量流量控制器以滿足客戶不同的需求。所有產(chǎn)品都擁有高精度、快速響應(yīng)的特性。多種不同類型的氣體質(zhì)量流量控制器皆擁有寬泛的流量范圍，客戶可選擇適合的類型。我們可提供三種閥門，客戶可選擇熱式閥門、電磁線圈閥門、或者壓電陶瓷閥。同樣我們也可提供多種不同的通訊方式，包括模擬式、數(shù)字式、DeviceNet™ (*1), 以及PROFIBUS™(*2) (取決于產(chǎn)品型號)。我們產(chǎn)品的流量范圍可覆蓋微量流量直至大流量。
*1 Devicenet是一種通訊方式的標(biāo)志。
*2 PROFIBUS是一種化的通訊方式標(biāo)志。
型號 | SEC-N11- | SEC-N12- | SEC-N13- | SEC-N14- |
全程流量范圍 | 10SCCM-10SLM | 11SLM-50SLM | 51SLM-100SLM | 101SLM-200SLM |
可控流量范圍 | 2~*全流量 | |||
精度 | ±1%設(shè)定流量（設(shè)定流量＞30%全流量） ±0.3%全流量（設(shè)定流量≤30%全流量） | |||
響應(yīng)速度 | ≤1秒 | |||
氣路材質(zhì) | SUS 316L,PTFE,磁性不銹鋼 | SUS 316L | ||
密封圈材質(zhì) | 金屬/橡膠 | |||
閥門類型 | NC;常閉 | NC；常開 NO; 常開 | ||
適用的差壓范圍 | 50~300Kpa(d);~3slm 100~300Kpa(d);~10slm | 200~300KPa | 100~300KPa | 200~300KPa |
抗壓能力 | 100KPa（g） | |||
產(chǎn)品外漏水平 | ＜5X10-12Pa·m3/s（He）;金屬密封 ＜1X10-10Pa·m3/s（He）;橡膠密封 | |||
接口 | 1/4VCR 124mm | 1/2VCR 132mm | ||
數(shù)字式通訊協(xié)議 | RS-485 | |||