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HORIBA SEC-E40V（MK3）質(zhì)量流量控制器
Horiba SEC-E40 系列質(zhì)量流量控制器、流量計(jì)被廣泛的應(yīng)用于半導(dǎo)體、太陽能、實(shí)驗(yàn)室、環(huán)境監(jiān)測(cè)儀中。尤其在擴(kuò)散爐中得到了廣大客戶的支持。適用于從微小流量0.2sccm到大流量500slpm的控制。
產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
HORIBA SEC-E40V(MK3)質(zhì)量流量控制器
概要
· 適用于廣泛范圍的流量控制：在同一系列中，適于從0.2SCCM到500SLM(N2)的流量控制
· 適用于廣泛的用途：在普通產(chǎn)業(yè)市場中，擁有眾多的銷售業(yè)績，引以為豪。
· 低成本：產(chǎn)品陣容中有力求具有成本優(yōu)勢(shì)的型號(hào)： SEC-E40MK3、SEC-E50MK3
Horiba SEC-E40 質(zhì)量流量控制器、流量計(jì)
技術(shù)規(guī)格
型號(hào) | SEC- (質(zhì)量流量控制器) | SEC-E40、SEC-E40MK3 | SEC-E50、SEC-E50MK3 |
SEF- (質(zhì)量流量計(jì)) | SEF-E40 | E50 | |
適用氣體種類*1 | 非腐蝕性氣體(MK3型號(hào)適用于N2、O2、空氣、H2、Ar、He) | ||
氣體接觸部材質(zhì) | SUS316L.氟化橡膠.PTFE、磁性不銹鋼 | ||
閥門型號(hào) | 非通電時(shí) 關(guān)閉 | ||
標(biāo)準(zhǔn)流量量程 (N2相應(yīng)F.S.) | 10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM | 20/30 SLM | |
流量控制范圍 | 2?* F.S. | ||
流量測(cè)量范圍 | 0?* F.S. | ||
響應(yīng)速度 | 1秒以內(nèi)(T98) | ||
流量精度 | ±1% F.S. | ||
直線性 | ±0.5% F.S. | ||
反復(fù)性 | ±0.2% F.S. | ||
工作差壓值值 | 10 SCCM?5 SLM：50?300kPa(d) 10?30 SLM:100?300kPa(d) | ||
使用壓力 | 300kPa(G)以下 | ||
耐 壓 | 1MPa(G)以下 | ||
外部泄漏率 | 1×10-8Pa?m3/s(He)以下 | ||
使用環(huán)境溫度 | 5?50℃(精度的確保：15?35℃) | ||
流量設(shè)定信號(hào) | 0.1?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/2?* F.S. | ||
流量輸出信號(hào) | 0?5VDC(zui小負(fù)荷電阻2kΩ) | ||
驅(qū)動(dòng)電源 | +15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA | ＋15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3.9VA | |
標(biāo)準(zhǔn)接頭*2 | 1/4SWL 類型 | ||
型號(hào) | SEC- (質(zhì)量流量控制器) | SEC-E60 | SEC-E70 | SEC-E80 |
SEF- (質(zhì)量流量計(jì)) | E60 | E70 | E80 | |
適用氣體種類*1 | N2、O2、Air、H2、Ar、C3H8、CH4、C4H10 | N2、O2、Air、H2 | ||
氣體接觸部材質(zhì) | SUS316.氟化橡膠、磁性不銹鋼 | |||
閥門型號(hào) | 非通電時(shí) 關(guān)閉 | |||
標(biāo)準(zhǔn)流量量程 (N2相應(yīng)F.S.) | 50/100 SLM | 200 SLM | 300/500 SLM | |
流量控制范圍 (適于SEC系列) | 5?* F.S. | |||
流量測(cè)量范圍 (適于SEF系列) | 0?* F.S. | |||
響應(yīng)速度 | 1秒以內(nèi)(T98) | 2秒以內(nèi)(T98) | ||
流量精度 | ±1% F.S. | ±2% F.S. | ||
直線性 | ±0.5% F.S. | ±1% F.S. | ||
反復(fù)性 | ±0.5% F.S. | ±1% F.S. | ||
工作差壓值值(適于SEC系列) | 100?300kPa(d) | 200?350kPa(d) | ||
使用壓力 (適于SEF系列) | 350kPa(G)以下 | |||
耐 壓 | 1MPa(G)以下 | |||
外部泄漏率 | 1×10-7Pa?m3/s(He)以下 | 450kPa(G)加壓10分鐘減壓1%以內(nèi) | ||
使用環(huán)境溫度 | 5?45℃(精度的確保：15?35℃) | |||
流量設(shè)定信號(hào) | 0.25?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/5?* F.S. | |||
流量輸出信號(hào) | 0?5VDC(zui小負(fù)荷電阻2kΩ) | |||
驅(qū)動(dòng)電源 | ＋15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3.9VA | |||
標(biāo)準(zhǔn)接頭*2 | 3/8SWL 類型 | 1/2SWL 類型 | ||
*1:關(guān)于記載以外的氣體種類，請(qǐng)另行咨詢協(xié)商。
*2也可以適用標(biāo)準(zhǔn)接頭以外的接頭。請(qǐng)另行咨詢協(xié)商。
※SEC-E40/E50/E40MK3/E50MK3搭載有自動(dòng)清零功能。
※入口壓力是SEC-E40/50/60/E40MK3/E50MK3：zui大值300kPa(G)；SEC-70/80：zui大值350kPa(G)以下。
※ SCCM、SLM是表示氣體的流量單位(mL/min、L/min、at、0℃、101.3kPa)的記號(hào)。
HORIBA SEC-E40V(MK3)質(zhì)量流量控制器
本公司同時(shí)提供美國AALBORG、美國NK、日本圖技、日本HORIBASTEC質(zhì)量流量計(jì)、質(zhì)量流量控制器、數(shù)字式質(zhì)量流量控制器、耐腐蝕質(zhì)量流量控制器，記錄儀