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HORIBA SEC-E50（MK3）質(zhì)量流量控制器
Horiba SEC-E50 質(zhì)量流量控制器Horiba MFC被應(yīng)用于半導(dǎo)體、太陽能、實驗室、環(huán)境監(jiān)測儀中。
產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
HORIBA SEC-E50（MK3）質(zhì)量流量控制器
Horiba SEC-E50 質(zhì)量流量控制器在擴(kuò)散爐中得到了廣大客戶的支持。適用于從微小流量300sccm到流量30slpm的控制。
概要
· 適用于范圍的流量控制：在同一系列中，適于從0.2SCCM到500SLM(N2)的流量控制
· 適用于廣泛的用途：在普通產(chǎn)業(yè)市場中，擁有多的銷售業(yè)績。
· 低成本：產(chǎn)品陣容中有力求具有成本優(yōu)勢的型號： SEC-E40MK3、SEC-E50MK3
技術(shù)規(guī)格
型號 | SEC- (質(zhì)量流量控制器) | SEC-E40、SEC-E40MK3 | SEC-E50、SEC-E50MK3 |
SEF- (質(zhì)量流量計) | SEF-E40 | E50 | |
適用氣體種類*1 | 非腐蝕性氣體(MK3型號適用于N2、O2、空氣、H2、Ar、He) | ||
氣體接觸部材質(zhì) | SUS316L.氟化橡膠.PTFE、磁性不銹鋼 | ||
閥門型號 | 非通電時 關(guān)閉 | ||
標(biāo)準(zhǔn)流量量程 (N2相應(yīng)F.S.) | 10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM | 20/30 SLM | |
流量控制范圍 | 2?* F.S. | ||
流量測量范圍 | 0?* F.S. | ||
響應(yīng)速度 | 1秒以內(nèi)(T98) | ||
流量精度 | ±1% F.S. | ||
直線性 | ±0.5% F.S. | ||
反復(fù)性 | ±0.2% F.S. | ||
工作差壓值值 | 10 SCCM?5 SLM：50?300kPa(d) 10?30 SLM:100?300kPa(d) | ||
使用壓力 | 300kPa(G)以下 | ||
耐 壓 | 1MPa(G)以下 | ||
外部泄漏率 | 1×10-8Pa?m3/s(He)以下 | ||
使用環(huán)境溫度 | 5?50℃(精度的確保：15?35℃) | ||
流量設(shè)定信號 | 0.1?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/2?* F.S. | ||
流量輸出信號 | 0?5VDC(zui小負(fù)荷電阻2kΩ) | ||
驅(qū)動電源 | +15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA | ＋15VDC ±5% 50mA ?15VDC ±5% 200mA 3.9VA | |
標(biāo)準(zhǔn)接頭*2 | 1/4SWL 類型 | ||
*1:關(guān)于記載以外的氣體種類，請另行咨詢協(xié)商。
*2也可以適用標(biāo)準(zhǔn)接頭以外的接頭。請另行咨詢協(xié)商。
※SEC-E40/E50/E40MK3/E50MK3搭載有自動清零功能。
※入口壓力是SEC-E40/50/60/E40MK3/E50MK3：zui大值300kPa(G)；SEC-70/80：zui大值350kPa(G)以下。
※ SCCM、SLM是表示氣體的流量單位(mL/min、L/min、at、0℃、101.3kPa)的記號。
HORIBA SEC-E50（MK3）質(zhì)量流量控制器