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HoribaSEC-E40系列 熱式質(zhì)量流量控制器

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更新時(shí)間:2019-06-24 11:01:35瀏覽次數(shù):1268

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HoribaSEC-E40系列 熱式質(zhì)量流量控制器
Horiba MFC被廣泛的應(yīng)用于半導(dǎo)體、太陽(yáng)能、實(shí)驗(yàn)室、環(huán)境監(jiān)測(cè)儀中。在擴(kuò)散爐中得到了廣大客戶的支持。適用于從微小流量0.2sccm到大流量500slpm的控制。

詳細(xì)介紹

HoribaSEC-E40系列 熱式質(zhì)量流量控制器

日本HoribaSEC-E40 熱式質(zhì)量流量控制器

型號(hào): SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3、SEC-341、SEC-441.

可選高精度數(shù)字式:SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM、E440J,

Horiba MFC被廣泛的應(yīng)用于半導(dǎo)體、太陽(yáng)能、實(shí)驗(yàn)室、環(huán)境監(jiān)測(cè)儀中。在擴(kuò)散爐中得到了廣大客戶的支持。適用于從微小流量0.2sccm到大流量500slpm的控制。

 

概要

 

· 適用于廣泛范圍的流量控制:在同一系列中,適于從0.2SCCM到500SLM(N2)的流量控制

 

· 適用于廣泛的用途:在普通產(chǎn)業(yè)市場(chǎng)中,擁有眾多的銷售業(yè)績(jī)。

 

· 低成本:產(chǎn)品陣容中有力求具有成本優(yōu)勢(shì)的型號(hào): SEC-E40MK3、SEC-E50MK3

 

 

 

技術(shù)規(guī)格

 

型號(hào)

SEC- (質(zhì)量流量控制器)

SEC-E40、SEC-E40MK3

SEC-E50、SEC-E50MK3

SEF- (質(zhì)量流量計(jì))

SEF-E40

E50

適用氣體種類*1

非腐蝕性氣體(MK3型號(hào)適用于N2、O2、空氣、H2、Ar、He)

氣體接觸部材質(zhì)

SUS316L.氟化橡膠.PTFE、磁性不銹鋼

閥門(mén)型號(hào)

非通電時(shí) 關(guān)閉

標(biāo)準(zhǔn)流量量程 (N2相應(yīng)F.S.)

10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM

20/30 SLM

流量控制范圍
(適于SEC系列)

2?100% F.S.

流量測(cè)量范圍
(適于SEF系列)

0?100% F.S.

響應(yīng)速度

1秒以內(nèi)(T98)

流量精度

±1% F.S.

直線性

±0.5% F.S.

反復(fù)性

±0.2% F.S.

工作差壓值值
(適于SEC系列)

10 SCCM?5 SLM:50?300kPa(d) 10?30 SLM:100?300kPa(d)

使用壓力
(適于SEF系列)

300kPa(G)以下

耐 壓

1MPa(G)以下

外部泄漏率

1×10-8Pa?m3/s(He)以下

使用環(huán)境溫度

5?50℃(精度的確保:15?35℃)

流量設(shè)定信號(hào)

0.1?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/2?100% F.S.

流量輸出信號(hào)

0?5VDC(小負(fù)荷電阻2kΩ)

驅(qū)動(dòng)電源

+15VDC ±5% 50mA

-15VDC ±5% 150mA 3VA

+15VDC ±5% 50mA

−15VDC ±5% 200mA 3.9VA

標(biāo)準(zhǔn)接頭*2

1/4SWL 類型

 

 上海首榮工業(yè)設(shè)備有限公司   上海首榮工業(yè)設(shè)備有限公司  上海首榮工業(yè)設(shè)備有限公司

 

型號(hào)

SEC- (質(zhì)量流量控制器)

SEC-E60

SEC-E70

SEC-E80

SEF- (質(zhì)量流量計(jì))

E60

E70

E80

適用氣體種類*1

N2、O2、Air、H2、Ar、C3H8、CH4、C4H10

N2、O2、Air、H2

氣體接觸部材質(zhì)

SUS316.氟化橡膠、磁性不銹鋼

閥門(mén)型號(hào)

非通電時(shí) 關(guān)閉

標(biāo)準(zhǔn)流量量程 (N2相應(yīng)F.S.)

50/100 SLM

200 SLM

300/500 SLM

流量控制范圍 (適于SEC系列)

5?100% F.S.

流量測(cè)量范圍 (適于SEF系列)

0?100% F.S.

響應(yīng)速度

1秒以內(nèi)(T98)

2秒以內(nèi)(T98)

流量精度

±1% F.S.

±2% F.S.

直線性

±0.5% F.S.

±1% F.S.

反復(fù)性

±0.5% F.S.

±1% F.S.

工作差壓值值(適于SEC系列)

100?300kPa(d)

200?350kPa(d)

使用壓力 (適于SEF系列)

350kPa(G)以下

耐 壓

1MPa(G)以下

外部泄漏率

1×10-7Pa?m3/s(He)以下

450kPa(G)加壓10分鐘減壓1%以內(nèi)

使用環(huán)境溫度

5?45℃(精度的確保:15?35℃)

流量設(shè)定信號(hào)

0.25?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/5?100% F.S.

流量輸出信號(hào)

0?5VDC(小負(fù)荷電阻2kΩ)

驅(qū)動(dòng)電源

+15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3.9VA

標(biāo)準(zhǔn)接頭*2

3/8SWL 類型

1/2SWL 類型

 

*1:關(guān)于記載以外的氣體種類,請(qǐng)另行咨詢協(xié)商。
*2也可以適用標(biāo)準(zhǔn)接頭以外的接頭。請(qǐng)另行咨詢協(xié)商。
※SEC-E40/E50/E40MK3/E50MK3搭載有自動(dòng)清零功能。
※入口壓力是SEC-E40/50/60/E40MK3/E50MK3:大值300kPa(G);SEC-70/80:大值350kPa(G)以下。
※ SCCM、SLM是表示氣體的流量單位(mL/min、L/min、at、0℃、101.3kPa)的記號(hào)。

 

 

 

本公司同時(shí)提供美國(guó)AALBORG、美國(guó)NK,美國(guó)DWYER 質(zhì)量流量計(jì)、質(zhì)量流量控制器、數(shù)字式質(zhì)量流量控制器、耐腐蝕質(zhì)量流量控制器

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