薄膜方塊電阻測(cè)試儀 型號(hào):NXTR-1A/1B | 貨號(hào):ZH8860 |
產(chǎn)品簡(jiǎn)介: 薄膜方塊電阻測(cè)試儀主來(lái)測(cè)量硅外延層、擴(kuò)散層和離子注入層、導(dǎo)電玻璃(ITO)和其它導(dǎo)電薄膜的方塊電阻。它由電氣測(cè)量部份(簡(jiǎn)稱:主機(jī))、測(cè)試架、四探針頭及測(cè)量軟件組成 使用范圍 適用于西門子法、硅烷法等生產(chǎn)多晶硅料的企業(yè) 適用于物理提生產(chǎn)多晶硅料生產(chǎn)企業(yè) 適用于光伏拉晶鑄錠及 IC 半導(dǎo)體器件企業(yè) 適用于科研、高等院校及需要量程測(cè)量電阻率的企業(yè) 產(chǎn)品特點(diǎn) 可測(cè)方塊電阻:適合檢測(cè)硅芯,檢磷棒,檢硼棒,籽晶等圓柱晶體硅 適用于西門子法、硅烷法等生產(chǎn)多晶硅料的企業(yè) 適用于物理提生產(chǎn)多晶硅料生產(chǎn)企業(yè) 適用于光伏拉晶鑄錠及 IC 半導(dǎo)體器件企業(yè) 適用于科研、高等院校及需要量程測(cè)量電阻率的企業(yè) 測(cè)試量程大,電阻率測(cè)試儀 主機(jī)配置了“小游移四探針頭”了一起數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性 儀器消除了珀?duì)柼?yīng)、塞貝克效應(yīng)、少子注入效應(yīng)等負(fù)效應(yīng)的影響,因此測(cè)試精度提高 測(cè)量精度高,除了具有厚度修正功能外、還有溫度修正、圓片直徑修正等功能 特的設(shè)計(jì)能消除測(cè)量引線和接觸電阻產(chǎn)生的誤差, 測(cè)量的高精度和寬的量程范圍 雙數(shù)字表結(jié)構(gòu)使測(cè)量,操作簡(jiǎn)便 具有的測(cè)試數(shù)據(jù)查詢及打印功能 測(cè)量系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)換向測(cè)量、求平均值、zui大值、zui小值、平均百分變化率等 四探針頭采用進(jìn)口紅寶石軸套導(dǎo)向結(jié)構(gòu),使探針的游移率減小,測(cè)量重復(fù)性提高 采用進(jìn)口元器件,留有大的系數(shù),提高了測(cè)試儀的性和使用壽命 測(cè)量電流采用高度穩(wěn)定的恒流源(之五精度),不受氣候條件的影響 具有正測(cè)反測(cè)的功能,測(cè)試結(jié)果的準(zhǔn)確性 具有抗強(qiáng)磁場(chǎng)和抗高頻設(shè)備的性能 測(cè)量范圍 10-5 ------1.9*105 Ω?cm 10-4------1.9*104 Ω?cm 可測(cè)硅棒尺寸: zui大長(zhǎng)度300mm;直徑20mm(按用戶要求改) 輸出電流:DC0.001-100mA 五檔連續(xù)可調(diào) 測(cè)量范圍:0-199.99mV 靈 敏 度: 10μA 輸入阻抗:1000ΩM 電阻測(cè)量誤差:檔均低于±0.05% 供電電源:AC 220V ±10% 50/60Hz. 推薦使用環(huán)境:溫度:23±2℃ 相對(duì)溫度:≤65% |