德國海德漢(HEIDENHAIN)敞開式直線光柵尺
【簡單介紹】
【詳細(xì)說明】
德國海德漢(HEIDENHAIN)敞開式直線光柵尺
敞開式直線光柵尺設(shè)計(jì)用于需要高精度測量的機(jī)床和系統(tǒng)
典型應(yīng)用包括:
- 半導(dǎo)體工業(yè)的測量和生產(chǎn)設(shè)備
- PCB電路板組裝機(jī)
- 超精密機(jī)床
- 高精度機(jī)床
- 測量機(jī)和比較儀,測量顯微鏡和其它的精密性張力控制測量設(shè)備
- 直接驅(qū)動(dòng)
位置測量
系列 | 描述 |
| 測量長度 |
---|---|---|---|
LIC | LIC暴露的線性編碼器允許的位置測量大路徑遍歷到27米的的和在高速運(yùn)動(dòng)。在他們的尺寸和安裝,他們相匹配的LIDA 400。 | ±0.08微米 | 27040毫米 |
增量式直線光柵測量
系列 | 描述 |
| 測量長度 |
---|---|---|---|
LIP | LIP敞開式直線光柵的特點(diǎn)是非常小的測量具有很高的準(zhǔn)確性和可重復(fù)性。他們根據(jù)干涉掃描原理和特點(diǎn)一DIADUR相位光柵作為測量標(biāo)準(zhǔn)。 | 高達(dá)±0.001微米的 | 到3040毫米 |
LIF | 暴露的線性編碼器的LIF在玻璃基板上制造在SUPRADUR過程中,有一個(gè)測量標(biāo)準(zhǔn),干涉掃描原理。它們的特點(diǎn)是精度高,重復(fù)性好,特別是易于安裝,限位開關(guān)和歸巢的軌道。特別版LIF 481 V可用于在高真空到10-7酒吧(請(qǐng)參閱單獨(dú)的產(chǎn)品信息表)。 | ±0.04微米 | 到1020毫米 |
LIDA | LIDA系列直線編碼器是專門設(shè)計(jì)的高移動(dòng)速度可達(dá)10米/秒,是特別容易安裝的各種安裝方式。鋼規(guī)模磁帶,玻璃或玻璃陶瓷METALLUR刻度作為載體使用,這取決于各自的編碼器上。他們還配備了限位開關(guān)。 | 高達(dá)±0.2微米 | 30040毫米 |
PP | 在的PP兩坐標(biāo)編碼器,與DIADUR過程制造的平面的相位光柵結(jié)構(gòu)作為測量的標(biāo)準(zhǔn),該標(biāo)準(zhǔn)被掃描interferentially。這使得可以測量平面內(nèi)的位置。 | ±0.04微米 | 測量范圍68x68mm |
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