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德國倍加福電容式傳感器的使用說明
2015-1-19 閱讀(509)
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德國倍加福電容式傳感器的使用說明
德國倍加福電容式傳感器是將被測量的變化轉(zhuǎn)換為電容量變化的一種裝置,它本身就是一種可變電容器。由于這種傳感器具有結(jié)構(gòu)簡單,體積小,動態(tài)響應(yīng)好,靈敏度高,分辨率高,能實現(xiàn)非接觸測量等特點,因而被廣泛應(yīng)用于位移、加速度、振動、壓力、壓差、液位、等分含量等檢測領(lǐng)域。
這里主要介紹電容式傳感器的原理、結(jié)構(gòu)類型、測量電路及其工程應(yīng)用。當(dāng)被測量的變化使S、d或ε 任意一個參數(shù)發(fā)生變化時,電容量也隨之而變,從而完成 了由被測量到電容量的轉(zhuǎn)換。
根據(jù)當(dāng)式中的三個參數(shù)中兩個固定,一個可變,使得電容式傳感器有三種基本類型:變極距型電容傳感器、變面積型電容傳感器和變介電常數(shù)型電容傳感器。電容式傳感器的測量電路就是將電容式傳感器看成一個電容并轉(zhuǎn)換成電壓或其他電量的電路。因此,常用的測量電路主要有橋式電路、調(diào)頻電路、脈沖寬度 制電路、運算放大器電路、二極管雙 T 形交流電橋和環(huán)行二極管充放電法等。調(diào)頻電路實際是把電容式傳感器作為振蕩器諧振回路的一部分,當(dāng)輸入量導(dǎo)致電容量發(fā)生變化時,振蕩器的振蕩頻率就發(fā)生變化。雖然可將頻率作為測量系統(tǒng)的輸出量,用以判斷被測非電量的大小,但此時系統(tǒng)是非線性的,不易校正,因此必須加入鑒頻器,將頻率的變化轉(zhuǎn)換為電壓振幅的變化,經(jīng)過放大就可以用儀器指示或記錄儀記錄下來。
調(diào)頻電容傳感器測量電路具有較高的靈敏度,可以測量高至 0.01 μm級位移變化量。信號的輸出頻率易于用數(shù)字儀器測量,并與計算機通信,抗干擾能力強,可以發(fā)送、接收以達到遙測遙控的目的。
因此,在實際應(yīng)用中,常采用差動式結(jié)構(gòu),既使靈敏度提高 1 倍,又使非線性誤差大大降低,抗干擾能力增強。
電容式傳感器具有如下特點。
(1) 結(jié)構(gòu)簡單,適應(yīng)性強
電容式傳感器結(jié)構(gòu)簡單,易于制造,精度高;可以做得很小,以實現(xiàn)某些特殊的測量,電容式傳感器一般用金屬作電極,以無機材料作絕緣支承,因此可工作在高低溫、強輻射及強磁場等惡劣的環(huán)境中,能承受很大的溫度變化,承受高壓力、高沖擊、過載等;能測超高壓和低壓差。
(2) 動態(tài)響應(yīng)好
電容式傳感器由于極板間的靜電引力很小,需要的作用能量極小,可動部分可以做得小而薄,質(zhì)量輕,因此固有頻率高,動態(tài)響應(yīng)時間短,能在幾兆赫的頻率下工作,特適合于動態(tài)測量;可以用較高頻率供電,因此系統(tǒng)工作頻率高。它可用于測量高速變化的參數(shù),如振動等。
(3) 分辨率高
由于傳感器的帶電極板間的引力極小,需要輸入能量低,所以特別適合于用來解決輸入能量低的問題,如測量極小的壓力、力和很小的加速度、位移等,可以做得很靈敏,分辨力非常高,能感受0.001μm ,甚至更小的位移。
(4) 溫度穩(wěn)定性好
電容式傳感器的電容值一般與電極材料無關(guān),有利于選擇溫度系數(shù)低的材料,又由于本身發(fā)熱極小,因此影響穩(wěn)定性也極微小。
(5) 可實現(xiàn)非接觸測量、具有平均效應(yīng)
如回轉(zhuǎn)軸的振動或偏心、小型滾珠軸承的徑向間隙等,采用非接觸測量時,電容式傳感器具有平均效應(yīng),可以減小工件表面粗糙度等對測量的影響。
不足之處是輸出阻抗高,負載能力差,電容傳感器的電容量受其電極幾何尺寸等限制,一般為幾十皮法到幾百皮法,使傳感器輸出阻抗很高,尤其當(dāng)采用音頻范圍內(nèi)的交流電源時,輸出阻抗更高,因此傳感器負載能力差,易受外界干擾影響而產(chǎn)生不穩(wěn)定現(xiàn)象;寄生電容影響大,電容式傳感器的初始電容量很小,而傳感器的引線電纜電容、測量電路的雜散電容以及傳感器極板與其周圍導(dǎo)體構(gòu)成的電容等“寄生電容"卻較大,降低了傳感器的靈敏度,破壞了穩(wěn)定性,影響測量精度,因此對電纜的選擇、安裝、接法都要有要求。
德國倍加福電容式傳感器可用來測量直線位移、角位移、振動振幅(測至 0.05μm的微小振幅),尤其適合測量高頻振動振幅、精密軸系回轉(zhuǎn)精度、加速度等機械量,還可用來測量壓力、差壓力、液位、料面、糧食中的水分含量、非金屬材料的涂層、油膜厚度、測量電介質(zhì)的濕度、密度、厚度等。在自動檢測和控制系統(tǒng)中也常常用來作為位置信號發(fā)生器。
德國倍加福電容式傳感器的使用說明