SURF-CALDuke PD-083 SURF-CAL 尺度標準微粒
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- 上海瑞貝貿(mào)易有限公司
- 2016-05-08 09:46:13
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【簡單介紹】
【詳細說明】
Duke PD-083 SURF-CAL 尺度標準微粒
NIST溯源尺度標準，用于需要高度視覺反差的尺度標和參考應用領域。SUR-CAL 為各種硅晶片的表面性狀的檢測和標提供了便利的工具。產(chǎn)品的粒徑復合儀器廠家所需的各種規(guī)格。SURF-CAL系列產(chǎn)品完符合SEMI行業(yè)協(xié)會的建立的SSIS標指導準則， 微粒粒徑縱貫0.047到3.0微米的范圍， 覆蓋了半導體技術藍圖（ITRS）所義的關鍵質控點。通過將SUR-CAL聚苯乙烯乳膠微粒沉積在特的硅晶片（PSL）表面，用戶以對掃描儀進行周期性標，并與其它的掃描儀進行對比。 用戶還以對生產(chǎn)環(huán)節(jié)中關鍵階段SSIS的性能做出評估。產(chǎn)品包裝為50ml，微粒分散于超凈過濾去離子水中，微粒濃度 3 x 108 / ml。PD1100（粒徑1.112 μm）和小于這一粒徑的產(chǎn)品還提供1010 /ml 的產(chǎn)品包裝規(guī)格以滿足需要使用差別移動粒子分析儀（DMA）和其它尺寸排除技術粒子分析儀器的客戶需求。
尺度測量方法學：
為了確保與NIST的直接溯源性，產(chǎn)品的粒徑是直接從NIST提供的標準參考微粒通過電子顯微鏡或光學顯微鏡的測量中直接轉化而成的。尺度的不確性是依照NIST技術筆記1297方法（1994年版“NIST測量結果不確性評估指導方案”）計算得到的。產(chǎn)品中所描述的不確性為擴大性不確因素，覆蓋因子數(shù)為2 （K=2）。
| 微粒組成： | 聚苯乙烯 |
| 微粒密度： | 1.05g/cm3 |
| 微粒數(shù)量： | 3 x 108 or 1010顆/毫升 |
| 包裝規(guī)格： | 50ml瓶裝，每盒6瓶 |
| 微粒折射率： | 1.59 @ 589 nm （25°C） |
| 添加劑： | 無 |
| 產(chǎn)品保質期： | ≥2年 |
| 存儲條件： | 冰箱儲藏（冰點以上）防止冰凍，緊閉瓶蓋防止污染 |
| 包裝內(nèi)容 | 標與溯源證書、粒子計數(shù)擬程序、原料安數(shù)據(jù)表（MSDS） |
| Catalog Number | Certified | Expanded | Sie Distribution | |||
| 3 x 108 | 1010 | | | Std. Dev. | C.V.% | FWHM% * |
| PD-047 | PD-047B | 0.047 µm | 0.002 µm | 0.004 µm | 7.5% | 17.4% |
| PD-064 | PD-064B | 0.064 µm | 0.002 µm | 0.003 µm | 5.4% | 10.9% |
| PD-083 | PD-083B | 0.083 µm | 0.002 µm | 0.004 µm | 4.2% | 9.6% |
| PD-092 | PD-092B | 0.092 µm | 0.005 µm | 0.004 µm | 4.6% | 9.1% |
| PD-100 | PD-100B | 0.100 µm | 0.005 µm | 0.004 µm | 2.6% | 5.2% |
| PD-125 | PD-125B | 0.126 µm | 0.006 µm | 0.003 µm | 2.4% | 4.8% |
| PD-155 | PD-155B | 0.155 µm | 0.003 µm | 0.003 µm | 1.6% | 3.7% |
| PD-200 | PD-200B | 0.202 µm | 0.005 µm | 0.004 µm | 1.8% | 4.0% |
| PD-204 | PD-204B | 0.204 µm | 0.008 µm | 0.004 µm | 1.8% | 3.7% |
| PD-215 | PD-215B | 0.220 µm | 0.007 µm | 0.003 µm | 1.6% | 3.3% |
| PD-305 | PD-305B | 0.304 µm | 0.005 µm | 0.004 µm | 1.4% | 3.4% |
| PD-365 | PD-365B | 0.360 µm | 0.013 µm | 0.010 µm | 2.0% | 5.0% |
| PD-500 | PD-500B | 0.498 µm | 0.010 µm | 0.006 µm | 1.1% | 2.5% |
| PD-800 | PD-800B | 0.809 µm | 0.014 µm | 0.006 µm | 0.8% | 1.8% |
| PD-802 | PD-802B | 0.802 µm | 0.011 µm | 0.009 µm | 1.1% | 2.4% |
| PD1100 | PD1100B | 1.112 µm | 0.018 µm | 0.011 µm | 1.0% | 2.5% |
| PD1600 | | 1.59 µm | 0.02 µm | 0.016 µm | 1.0% | 2.6% |
| PD2000 | | 2.01 µm | 0.04 µm | 0.019 µm | 1.0% | 3.3% |
| PD3000 | | 3.04 µm | 0.06 µm | 0.026 µm | 0.9% | 2.7% |
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