設(shè)備單工位大口徑快速退火爐特點(diǎn)：

該款設(shè)備是由單端封口小型紅外滑軌爐、 電機(jī)調(diào)速裝置、高真空機(jī)組、進(jìn)出氣口及操作控制界面組成，內(nèi)控?zé)犭娕加糜诳刂芌TP滑軌爐內(nèi)的溫度，伺服電機(jī)用于控制絲桿的轉(zhuǎn)動(dòng)速度達(dá)到精確控制爐管（樣品）移除爐膛的速度，從而用于調(diào)節(jié)爐管（樣品）的降溫速度，與之相反可以得到較快的升溫速率；出氣口通過(guò)連接手動(dòng)擋板閥、波紋管用于對(duì)石英艙體內(nèi)的真空獲取，進(jìn)氣口除用于通入保護(hù)氣體或反應(yīng)氣體外，還可以用于移出爐膛后通入氣體帶走熱量的快速降溫，以此獲得較高的降溫速率。

單工位大口徑快速退火爐結(jié)構(gòu)與原理：

設(shè)備組成：單端封口小型紅外滑軌爐、 電機(jī)調(diào)速裝置、高真空機(jī)組、流量控制系統(tǒng)及工控電腦操作系統(tǒng)。

1、單端封口小型紅外滑軌爐：

該加熱系統(tǒng)采用*制造工藝，造型新穎結(jié)構(gòu)合理，爐體爐管可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)分離，爐體上下兩半設(shè)計(jì)，氣動(dòng)彈簧支撐結(jié)構(gòu)讓操作者可各角度自由打開(kāi)，安全可靠。爐膽采用高密度純氧化鋁聚輕纖維材料真空吸附成型，表面涂覆高反射率的超高溫保護(hù)涂層，除能夠保持其能量的低損耗，還能增強(qiáng)高溫穩(wěn)定性，可有效減少熱能損耗。

該滑軌爐加熱系統(tǒng)由紅外燈管加熱，采用內(nèi)插熱電偶控溫的方式實(shí)時(shí)顯示石英腔體內(nèi)部溫度，加熱區(qū)長(zhǎng)度為370mm，恒溫區(qū)長(zhǎng)度200mm，確保兩個(gè)φ100*100mm的夾具可放置在恒溫區(qū)內(nèi)，為讓樣品在爐管內(nèi)的中心位置，考慮石英置物架的高度，石英管管徑綜合考慮在210mm，恒溫區(qū)200mm內(nèi)的溫場(chǎng)均勻性控制在±5℃，升溫速率≤30℃/s, 整個(gè)石英腔體直接劃出爐膛，樣品降溫過(guò)程可在通入一定量保護(hù)氣體的條件下快速降溫，平均降溫速率可達(dá)到2℃/s， 試樣反應(yīng)區(qū)處在一個(gè)密閉的石英腔體內(nèi)，在完成工藝的同時(shí)大大降低了間接污染試樣的可能性。采用石英管堵維持爐內(nèi)的溫場(chǎng)均勻性及石英艙體內(nèi)的潔凈度。

2、電機(jī)調(diào)速裝置：

伺服電機(jī)調(diào)速裝置用于控制絲桿的轉(zhuǎn)動(dòng)速度，達(dá)到控制爐管部分的整體移動(dòng)速度（含樣件），以此調(diào)整快速升降溫的目標(biāo)速率，電機(jī)旋轉(zhuǎn)速度實(shí)時(shí)顯示并且精確可控，以獲得精確的移動(dòng)速度，滿足降溫時(shí)工藝參數(shù)要求。

3、主要參數(shù)