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電鏡能譜一體化設(shè)計，簡潔小巧
Phenom ProX 的能譜儀EDS是針對臺式電鏡設(shè)計的，本著臺式電鏡簡單易用，售后無憂的宗旨，Phenom ProX的能譜儀EDS 系統(tǒng)*嵌入在電鏡主機中，利用半導(dǎo)體制冷，無需額外冷卻系統(tǒng)。下圖是傳統(tǒng)電鏡能譜儀系統(tǒng)與Phenom ProX的對比圖
帶能譜儀DES的傳統(tǒng)電鏡	Phenom ProX

電鏡分辨率顯著提高
Phenom G2 Pro 45000倍	Phenom ProX 45000倍

瞬間得到樣品表面形貌和元素含量
*步：利用成像模式得到高分辨率的照片，背散射電子給出豐富的成份像，雜質(zhì)一目了然		第二步：如果需要分析元素含量，瞬間切換到成份分析模式，點擊感興趣的區(qū)域，立刻給出定量定性分析元素名稱和含量分布

5kV，10kV，15kV 三檔加速電壓

Phenom ProX提供三檔加速電壓，用戶可根據(jù)樣品類型和測試目的，靈活切換

5kV ：血液絕緣體直接觀測模式

適合對電子束敏感的樣品

10kV：電路板 *分辨率模式

適合絕大部分樣品

15kV：電路板元素分析模式

X射線特征譜線更明顯

表面形貌和成分信息同時展現(xiàn)
背散射電子的產(chǎn)率、出射角度與樣品成份及表面形貌相關(guān)。Phenom（飛納）采用4分割半導(dǎo)體背散射電子探測器，為您提供兩種成像模式，模式之間可迅速切換：
• 成份模式：同時給出樣品表面形貌與成份信息，不同元素可由其灰度對比度的不同加以分辨
• 形貌模式：去除成份信息，樣品表面凹凸起伏等微觀結(jié)構(gòu)更加明晰，適用于表面粗糙度和缺陷分析

成份模式 4分割背散射電子探測器扇區(qū)所得的信號相疊加	形貌模式 4分割背散射電子探測器扇區(qū)所得的信號相抵消

成份模式圖像包含樣品成份與形貌信息	形貌模式圖像僅突出樣品表面形貌特征

樣品杯，30秒快速成像
Phenom（飛納）樣品杯、低真空設(shè)計、的真空封鎖技術(shù)，裝入樣品后30秒內(nèi)即可得到高質(zhì)量圖像，耗時僅為傳統(tǒng)電鏡的1/10左右。

直接觀看絕緣體，無需噴金

Phenom（飛納）采用低真空技術(shù)，出射電子與空氣分子碰撞產(chǎn)生正離子，正離子與樣品表面累積的電子中和，有效抑制荷電效應(yīng)的產(chǎn)生，直接觀測各種不導(dǎo)電樣品（如下圖所示）。

利用降低荷電效應(yīng)樣品杯，更可將開始荷電的放大倍數(shù)提高8倍左右，而且不會影響燈絲壽命，下圖頭發(fā)示例：

操作簡便，全程導(dǎo)航
	• 自動/手動聚焦	Phenom（飛納）操作界面。通過點擊右側(cè)圖標可以輕松完成圖像縮放、聚焦、亮度對比度調(diào)節(jié)、旋轉(zhuǎn)等操作。界面右側(cè)顯示光學(xué)導(dǎo)航和低倍SEM導(dǎo)航窗口，方便用戶在不同樣品、不同區(qū)域間進行切換。
	• 自動/手動亮度
	• 自動/手動對比度
	• 自動燈絲居中調(diào)節(jié)
	• 自動馬達樣品臺
	• 光學(xué)/電子樣品導(dǎo)航

			光學(xué)導(dǎo)航，所有待觀測樣品盡在視野之中，高倍下準確切換樣品，只需點擊感興趣樣品，即可自動移動到屏幕*
			低倍SEM照片導(dǎo)航，導(dǎo)航窗口中的彩色矩形框指示了住觀測窗口的觀測區(qū)域，點擊感興趣的區(qū)域，自動移動到樣品*。

長壽命/高亮度/低色差 CeB6 燈絲
Phenom（飛納）采用逸出功為2.5eV的CeB6燈絲，其亮度為鎢燈絲的10倍，出射電子色差小，為您提供更高質(zhì)量的圖像，其使用壽命長達1500小時，為鎢燈絲的10倍，可正常使用1-3年無需更換燈絲，免去了您頻繁更換燈絲的麻煩，保證工作進度。