（一）一般規(guī)定
1、特種設(shè)施的安裝施工，應(yīng)符合下列規(guī)定：
（1）相關(guān)的土建工程己驗(yàn)收合格，并辦理交接手續(xù)。
（2）應(yīng)按工程設(shè)計(jì)文件和相關(guān)設(shè)備出廠技術(shù)說(shuō)明要求進(jìn)行安裝。
（3）各種設(shè)備及其附件、材料（包括填充材料）已進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)檢查、檢驗(yàn)，并應(yīng)符合工程設(shè)計(jì)和設(shè)備技術(shù)要求。認(rèn)真并進(jìn)行進(jìn)場(chǎng)記錄。
2、對(duì)氣密性、滲漏性控制嚴(yán)格的特種設(shè)施的設(shè)備、附件等，安裝前應(yīng)嚴(yán)格檢查密封狀況，若發(fā)現(xiàn)異常，應(yīng)與供貨商共同檢查，經(jīng)確認(rèn)不影響使用功能后才能進(jìn)行安裝。
3、對(duì)特種設(shè)施的承壓設(shè)備、附件，應(yīng)具有壓力試驗(yàn)、無(wú)損探傷等有效檢驗(yàn)合格文件。無(wú)合格文件者，不得進(jìn)行安裝。
4、有爆炸危險(xiǎn)或有毒的氣體、液體、有機(jī)溶劑等相關(guān)的設(shè)備、附件，應(yīng)具有有效檢驗(yàn)的合格文件，不符合規(guī)定者不得進(jìn)行安裝。
5、分類、分系統(tǒng)進(jìn)行安裝質(zhì)量驗(yàn)收，一般宜與供應(yīng)系統(tǒng)的試運(yùn)轉(zhuǎn)結(jié)合進(jìn)行。
6、有防靜電接地要求的設(shè)施，在安裝就位或系統(tǒng)管道安裝完成后進(jìn)行可靠接地。
（二）高純氣、特種氣體供應(yīng)設(shè)施的安裝
1、管路系統(tǒng)的試運(yùn)轉(zhuǎn)應(yīng)包括管路吹掃、氣密性、泄漏性試驗(yàn)和純度測(cè)試。
2、高純氣體、特種氣體供應(yīng)設(shè)施安裝前，應(yīng)按工程設(shè)計(jì)文件和產(chǎn)品說(shuō)明書(shū)或合約的要求，檢查設(shè)備（包括填充的純化材料等）、閥門(mén)和管件的完整性、密封性，并作檢查記錄。
3、純化設(shè)備、特氣柜的搬運(yùn)、就位應(yīng)符合下列規(guī)定：
（1）搬入潔凈室（區(qū)）前，應(yīng)進(jìn)行認(rèn)真的清潔，符合要求后從規(guī)定的設(shè)備搬入口運(yùn)入。
（2）整體設(shè)備搬運(yùn)時(shí)，應(yīng)按設(shè)備的構(gòu)造、管道及閥門(mén)等附件的配置狀況安全運(yùn)輸，不得倒置，并可靠固定。
（3）設(shè)備就位時(shí)，應(yīng)按工程設(shè)計(jì)文件和產(chǎn)品說(shuō)明書(shū)要求，準(zhǔn)確做好接管、接線定位。
（4）就位后，水、電接口應(yīng)按工程設(shè)計(jì)文件要求連接。
（5）氣體管道接口，應(yīng)在分系統(tǒng)的氣體輸送管道安裝試運(yùn)轉(zhuǎn)合格后才能連接。
4、高純氣體、特種氣體系統(tǒng)的閥門(mén)箱、吹掃盤(pán)的安裝，應(yīng)符合下列要求:
（1）檢查箱體及箱內(nèi)閥門(mén)、儀表和附件的完整性、密封性和合格證書(shū)等，并作好記錄。
（2）安裝位置應(yīng)按工程設(shè)計(jì)文件、產(chǎn)品說(shuō)明書(shū)要求進(jìn)行，并檢查接管、接線方位的正確性。
（3）氣體管道接口，應(yīng)在所在系統(tǒng)試運(yùn)轉(zhuǎn)合格后才能連接。
5、高純氣體、特種氣體設(shè)施施工安裝試運(yùn)轉(zhuǎn)的純度測(cè)試，應(yīng)符合下列要求：
（1）純度測(cè)試介質(zhì)，宜采用工作氣體進(jìn)行。
（2）測(cè)試氣體的壓力，宜與輸送介質(zhì)的設(shè)計(jì)壓力相同。
（3）測(cè)試氣體的檢測(cè)取樣口或排氣接口，應(yīng)設(shè)在供氣系統(tǒng)中要求氣體純度及其雜質(zhì)含量嚴(yán)格且距離長(zhǎng)的用氣設(shè)備處。
（4）純度測(cè)試過(guò)程，取樣時(shí)間的間隔宜為4h左右；氣體樣品應(yīng)采用與輸送介質(zhì)純度及允許雜質(zhì)含量相應(yīng)的精度等級(jí)的儀器進(jìn)行分析。
（5）當(dāng)測(cè)試氣體的進(jìn)、出口的純度及其雜質(zhì)含量（一般以氧痕量濃度、水痕量濃度為代表）一致時(shí)，即認(rèn)為純度測(cè)試合格。
6、管路系統(tǒng)的試驗(yàn)應(yīng)符合下列要求：
（1）高純氣體、特種氣體供應(yīng)設(shè)施的強(qiáng)度試驗(yàn)、氣密性試驗(yàn)和泄漏量試驗(yàn)及試驗(yàn)壓力，均應(yīng)按工程設(shè)計(jì)文件要求。
（2）試驗(yàn)氣體宜采用無(wú)油干燥壓縮空氣或純氮或氦氣；試驗(yàn)氣體壓力按規(guī)定逐步升至系統(tǒng)強(qiáng)度試驗(yàn)壓力后，保持10min，然后降壓至氣密性試驗(yàn)壓力，檢查接口、焊縫是否泄漏，以不漏為合格。
（3）氣密性試驗(yàn)合格后，進(jìn)行泄漏量試驗(yàn)，試驗(yàn)氣體為純氮或無(wú)油干燥壓縮空氣時(shí)，系統(tǒng)以設(shè)計(jì)壓力保持24h，檢查泄漏率不超過(guò)0.5％為合格。采用氦氣為試驗(yàn)氣體時(shí)，系統(tǒng)以設(shè)計(jì)壓力保持1h，檢查泄漏率不超過(guò)0.5％為合格。若不合格，檢查原因并進(jìn)行完善后，再進(jìn)行泄漏量試驗(yàn)，直至合格為止。
（4）管路系統(tǒng)的試驗(yàn)，一般均不包含純化設(shè)備、特氣柜和閥門(mén)箱等。
7、管路吹掃應(yīng)符合下列要求：
（1）應(yīng)按氣體品種、工作參數(shù)分系統(tǒng)分別進(jìn)行吹掃。
（2）管路系統(tǒng)應(yīng)采用0.3.0.5MPa的無(wú)油干燥壓縮空氣或純氮進(jìn)行吹掃，吹掃氣體應(yīng)設(shè)置過(guò)濾精度嚴(yán)于0.31tm氣體過(guò)濾器去除微粒；對(duì)輸送可燃?xì)怏w的管路宜采用純氮吹掃。
（3）在管路系統(tǒng)吹掃氣體排出口設(shè)靶檢查，以靶上未見(jiàn)微粒為合格；對(duì)輸送可燃?xì)怏w的管路系統(tǒng)，應(yīng)以排出口吹掃氣體中含氧量小于1％為合格。
（三）純水供應(yīng)設(shè)施的安裝
1、純水供應(yīng)設(shè)施安裝前，應(yīng)按工程設(shè)計(jì)文件和產(chǎn)品說(shuō)明書(shū)或合約的要求檢查、核對(duì)設(shè)備（包括填充的材料、元件等）、閥門(mén)和管件的完整性、密封性，并作好檢查、核對(duì)記錄。
2、純水管道及其閥門(mén)、附件的材質(zhì)，應(yīng)按工程設(shè)計(jì)文件和產(chǎn)品生產(chǎn)要求進(jìn)行選擇。
3、單體設(shè)備的搬運(yùn)、就位應(yīng)符合下列要求：
（1）搬入潔凈室（區(qū)）內(nèi)的單體設(shè)備，應(yīng)進(jìn)行認(rèn)真清潔后才能搬入。
（2）裝有填料或元件的單體設(shè)備，應(yīng)按要求的方向進(jìn)行搬運(yùn)、就位，不得倒置。
（3）單體設(shè)備就位時(shí)，應(yīng)按工程設(shè)計(jì)文件和產(chǎn)品說(shuō)明書(shū)要求，正確進(jìn)行定位。
4、潔凈室（區(qū)）內(nèi)純水末端處理設(shè)備的安裝，應(yīng)符合下列要求：
（1）純水管道接管，應(yīng)在純水系統(tǒng)安裝后經(jīng)試驗(yàn)及試運(yùn)轉(zhuǎn)合格后連接。
（2）接管、接線后，應(yīng)按工程設(shè)計(jì)文件和產(chǎn)品說(shuō)明書(shū)進(jìn)行試運(yùn)轉(zhuǎn)。
5、藥品和保健品等生產(chǎn)用純水系統(tǒng)的安裝，應(yīng)符合下列要求：
（1）根據(jù)使用特點(diǎn)和工程設(shè)計(jì)文件要求，準(zhǔn)確選擇管路材質(zhì)、閥門(mén)、附件，并不得對(duì)水質(zhì)產(chǎn)生污染和引起腐蝕或損傷。
6、管道系統(tǒng)的試驗(yàn)、試運(yùn)轉(zhuǎn)，應(yīng)符合下列要求：
（1）管道系統(tǒng)的試驗(yàn)應(yīng)按工程設(shè)計(jì)文件要求進(jìn)行水壓試驗(yàn)。
（2）管道系統(tǒng)的試驗(yàn)、試運(yùn)轉(zhuǎn)，通常不包括末端處理裝置等。
（3）試驗(yàn)合格后，以同等水質(zhì)的純水進(jìn)行清洗，直至在管路末端無(wú)雜質(zhì)、污染物為合格。
（4）有特殊要求的純水系統(tǒng)，應(yīng)按設(shè)計(jì)要求進(jìn)行脫脂、清洗、鈍化、合格后，并按規(guī)定進(jìn)行消毒滅菌。
（5）純水水質(zhì)試驗(yàn)，以本系統(tǒng)同樣水質(zhì)的純水進(jìn)行試驗(yàn)，水質(zhì)分析采樣日應(yīng)為水質(zhì)要求嚴(yán)格且距離長(zhǎng)的用戶末端處：取樣時(shí)間間隔為2-4h，以系統(tǒng)的始端、末端的水質(zhì)相同為合格。
7、管道清洗應(yīng)符合下列要求：
（1）管道清洗先以清潔水沖洗，末端檢查無(wú)雜物后，以同等水質(zhì)的純水清洗。
（2）清洗時(shí)，應(yīng)關(guān)斷所有接至單體設(shè)備的閥門(mén)，管道系統(tǒng)的過(guò)濾器濾芯應(yīng)卸下，待清洗合格后原樣恢復(fù)。
（四）化學(xué)品供應(yīng)設(shè)施的安裝
1、本節(jié)適用于潔凈廠房中工業(yè)產(chǎn)品生產(chǎn)所需的酸、堿、有機(jī)物質(zhì)等化學(xué)品供應(yīng)設(shè)備、輸送管路系統(tǒng)的安裝施工質(zhì)量驗(yàn)收。
2、化學(xué)品供應(yīng)設(shè)施安裝前，應(yīng)按設(shè)計(jì)文件和產(chǎn)品說(shuō)明書(shū)的要求或合約規(guī)定檢查設(shè)備、容器、閥門(mén)和附件的完整性和密封性等，并作檢查記錄。
3、化學(xué)品供應(yīng)設(shè)施中的各類泵的安裝施工應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《壓縮機(jī)、風(fēng)機(jī)、泵安裝工程施工及驗(yàn)收規(guī)范》GB 50275的規(guī)定。
4、潔掙室（區(qū)）內(nèi)化學(xué)品輸送管道系統(tǒng)的閥門(mén)箱等的安裝，應(yīng)符合下列要求：
（1）檢查箱體及箱內(nèi)閥門(mén)、儀表和附件的完整性、密封性和合格證書(shū)，并作好檢查記錄。
（2）就位安裝應(yīng)按工程設(shè)計(jì)文件、產(chǎn)品說(shuō)明書(shū)要求進(jìn)行，并檢查接管、接線方位的正確性。
（3）各種管道的連接，應(yīng)在所在系統(tǒng)吹掃或清洗合格后進(jìn)行。
5、化學(xué)品供應(yīng)設(shè)施的容器、管道及其閥門(mén)、附件的材質(zhì)，應(yīng)符合工程設(shè)計(jì)文件要求。
6、容器的搬運(yùn)、安裝就位，應(yīng)符合下列要求：
（1）搬入潔凈室（區(qū)）前，應(yīng)進(jìn)行清潔，符合要求后從規(guī)定的搬入口運(yùn)入。
（2）容器搬運(yùn)，應(yīng)根據(jù)容器結(jié)構(gòu)、規(guī)格尺寸及接管配置狀況，進(jìn)行可靠的固定，不得倒置。
（3）就位前，檢查基礎(chǔ)平整度、高度，基礎(chǔ)表面的水平度不得大于2%，標(biāo)高偏差不大于2mm。
（4）容器各接管中心與基礎(chǔ)面上的基準(zhǔn)線對(duì)準(zhǔn)、測(cè)量，其允許偏差為3mm。
（5）容器安裝就位后的垂直度，不應(yīng)大于2‰。
7、化學(xué)品供應(yīng)設(shè)施的低碳不銹鋼管、PE管、PVDF管等的管道系統(tǒng)安裝施工見(jiàn)相關(guān)規(guī)定。
8、管道吹掃或清洗，應(yīng)符合下列要求：
（1）按各種化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)，分別在安裝完成后分系統(tǒng)進(jìn)行吹掃或清洗。
（2）吹掃或清洗宜采用干燥壓縮空氣或純氮或清潔水，吹掃介質(zhì)壓力為0.2-0.3MPa：吹掃管道應(yīng)設(shè)置過(guò)濾精度高的過(guò)濾器。
（3）吹掃清洗時(shí)，應(yīng)關(guān)斷所有接至各類容器的閥門(mén)；管道系統(tǒng)的過(guò)濾器濾芯，流量計(jì)應(yīng)卸下，待吹掃后按原樣恢復(fù)。
（4）各系統(tǒng)的吹掃應(yīng)反復(fù)多次沖擊進(jìn)行，吹掃時(shí)間不宜少于2.0h，并以濕的白色濾紙或白布或涂有白色漆的靶板放在吹掃氣排出口，經(jīng)5min后檢查微粒狀況。不合格時(shí)，繼續(xù)吹掃，直至合格。
9、管道系統(tǒng)的試驗(yàn)、試運(yùn)轉(zhuǎn)應(yīng)符合下列要求：
（1）管道系統(tǒng)的試驗(yàn)應(yīng)按工程設(shè)計(jì)文件要求進(jìn)行強(qiáng)度試驗(yàn)、氣密性試驗(yàn)，金屬管道的試驗(yàn)方法參照現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《工業(yè)金屬管道工程施工及驗(yàn)收規(guī)范》GB50235的規(guī)定進(jìn)行。
（2）管道系統(tǒng)的試驗(yàn)、試運(yùn)轉(zhuǎn)，通常不包括各類容器、泵類等設(shè)備。
（3）承壓管道應(yīng)進(jìn)行強(qiáng)度和嚴(yán)密性試驗(yàn)，強(qiáng)度試驗(yàn)的試驗(yàn)壓力為設(shè)計(jì)壓力的1.5倍，嚴(yán)密性試驗(yàn)的試驗(yàn)壓力為設(shè)計(jì)壓力的1.15倍。非承壓管道應(yīng)進(jìn)行滿水試驗(yàn)。
（4）試驗(yàn)合格后，以純水或氮?dú)膺M(jìn)行清洗吹掃，直至末端無(wú)雜質(zhì)、污染物為合格。