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使用范圍：對(duì)半導(dǎo)體制造裝置發(fā)熱部的冷卻：?jiǎn)尉磧艮D(zhuǎn)載、印刷機(jī)、自動(dòng)夾座安裝裝置、噴涂裝置、離子鍍裝置、蝕刻裝置、單晶片處理裝置、切片機(jī)、包裝機(jī)、顯影劑的溫度管理、露光裝置、生磁部分的加熱裝置等。對(duì)激光裝置發(fā)熱部分的冷卻：激光加工、熔接機(jī)的發(fā)熱部分、激光標(biāo)志裝置、發(fā)生裝置、二氧化碳激光加工機(jī)等。其他產(chǎn)業(yè)用機(jī)器發(fā)熱部分的冷卻：

型號(hào)		LX-10A
溫度范圍		-25.0～40.0℃
溫控精度		±1℃
制冷量	20℃	10000W
	0℃	7500W
	-20℃	3500W
泵流量		50L/min 1.8bar
安全保護(hù)		具有自我診斷功能；冷凍機(jī)過載保護(hù)；高壓壓力開關(guān)，過載繼電器、熱保護(hù)裝置等多種安全保障功能
冷卻方式		水冷或風(fēng)冷
溫度探頭		PT100 控制外圍設(shè)備
加注冷媒		R404A
整機(jī)重量		165kg
電源		AC 220/380V 50/60HZ



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