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貨物所在地:四川成都市
更新時(shí)間:2024-07-13 21:00:05
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熱反射(Thermo-Reflectance)方法基于超高速激光閃射系統(tǒng),可測量基片上金屬、陶瓷、聚合物薄膜的熱物性參數(shù),如熱擴(kuò)散系數(shù)(Thermal Diffusivity)、熱導(dǎo)率(Thermal Conductivity)、吸熱 系數(shù)(Thermal Effusivity)和界面熱阻。
由于激光閃射時(shí)間僅為納秒(ns)量級,甚至可達(dá)到皮秒(ps)量級,此系統(tǒng)可測量厚度低至10nm的薄膜。同時(shí),系統(tǒng)提供不同的測量模式,以適應(yīng)于不同的基片情況(透明/不透明)。
該方法符合標(biāo)準(zhǔn):
JIS R 1689:通過脈沖激光熱反射方法測量精細(xì)陶瓷薄膜的熱擴(kuò)散系數(shù);
JIS R 1690:陶瓷薄膜和金屬薄膜界面熱阻的測量方法。
技術(shù)參數(shù) | NanoTR | PicoTR |
溫度范圍 | RT,RT … 300°C(選件) | RT,RT … 500°C(選件) |
真空度 | N/A | 10-6 mbar(選件) |
測量模式 | RF/FF | RF/FF |
樣品尺寸 | 10x10 ... 20x20 mm | 10x10 ... 20x20 mm |
薄膜厚度 | RF: 金屬:1 ... 20µm 陶瓷:300nm ... 5µm 聚合物:30nm ... 2µm FF:> 1µm | RF: 金屬:100nm ... 900nm 陶瓷:10nm ... 300nm 聚合物:10nm ... 100nm FF:> 100nm |
基片厚度 | < 1mm | < 1mm |
熱擴(kuò)散溫升時(shí)間 | 10ns ... 10µs | 10ps ... 10ns |
熱擴(kuò)散系數(shù) | 0.01…1000 mm2/s | 0.01…1000 mm2/s |
測量精度 | 5%(RF), 10%(FF) | 5%(RF), 10%(FF) |
操作系統(tǒng) | Windows 7 | Windows 7 |
熱反射法薄膜導(dǎo)熱儀 NanoTR / PicoTR
熱反射法薄膜導(dǎo)熱儀 NanoTR / PicoTR
熱反射法薄膜導(dǎo)熱儀 NanoTR / PicoTR
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