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產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
| 測量范圍 | 電阻率：10-4～105 Ω.cm（可擴展）； 方塊電阻：10-3～106 Ω/□（可擴展）； 電導(dǎo)率：10-5～104 s/cm； 電阻：10-4～105 Ω； |
| 可測晶片直徑 | 140mmX150mm（配S-2A型測試臺）； 200mmX200mm（配S-2B型測試臺）； 400mmX500mm（配S-2C型測試臺）； |
| 恒流源 | 電流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔，各檔電流連續(xù)可調(diào) |
| 數(shù)字電壓表 | 量程及表示形式：000.00～199.99mV； 分辨力：10μV； 輸入阻抗：>1000MΩ； 精度：±0.1% ； 顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；極性、超量程自動顯示； |
| 四探針探頭基本指標(biāo) | 間距：1±0.01mm； 針間絕緣電阻：≥1000MΩ； 機械游移率：≤0.3%； 探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm； 探針壓力：5～16 牛頓（總力）； |
| 四探針探頭應(yīng)用參數(shù) | （見探頭附帶的合格證） |
| 模擬電阻測量相對誤差 （ 按JJG508-87進行） | 0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字 |
| 整機測量zui大相對誤差 | （用硅標(biāo)樣片：0.01-180Ω.cm測試）≤±5% |
| 整機測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度 | ≤5% |
| 計算機通訊接口 | 并口，高速并行采集數(shù)據(jù)，連接電腦使用時采集數(shù)據(jù)到電腦的時間只需要1.5 秒（在 0.1mA、1mA、10mA、100mA量程檔時）。連接電腦使用時帶自動測量功 能，自動選擇適合樣品測試電流量程； |
| 標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境 | 溫度：23±2℃； 相對濕度：≤65%； 無高頻干擾； 無強光直射； |