方塊電阻分析儀 電阻率四探針測試儀
一、 結構特征
二、概述
TCWSP-51型數字式四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量裝置,它可以測量片狀、塊狀半導體材料的電阻率,擴散層的薄層電阻(亦稱方塊電阻)。也可測柔性導電薄膜和玻璃等硬基底上導電膜的方塊電阻(簡稱方阻),換上四端子測試夾具,還可對電阻器體電阻、金屬導體的低、中值電阻以及開關類接觸電阻進行測量。
本測試儀可贈設電池供電,適合手持式變動場合操作!
儀器所有參數設定、功能轉換全部采用一旋鈕輸入;具有零位、滿度自校功能;自動轉換量程;測試探頭采用高耐磨碳化鎢探針制成,故定位準確、游移率小、壽命長;測試結果由數字表頭直接顯示。
方塊電阻分析儀 電阻率四探針測試儀三、基本技術參數
1. 測量范圍、分辨率
電 阻: 1.0×10-2 ~ 2000 Ω, 分辨率0.1×10-3 ~ 0.1×10 Ω
電 阻 率: 1.0×10-3~ 2000 Ω-cm 分辨率0.1×10-2 ~ 0.1 Ω-cm
方塊電阻: 1.0×10-3 ~ 2000Ω/□ 分辨率1.0×10-1 ~ 0.1×10 Ω/□
2. 可測半導體材料尺寸(手持式)
直 徑: 測試臺直接測試方式 Φ15~130mm,其他方式不限.
長(或高)度: 測試臺直接測試方式 H≤160mm, 其他方式不限.
3. 量程劃分及誤差等級
量程2.000200.020.002.000200.0
kΩ-cm/□Ω-cm/□mΩ-cm/□
基本誤差±1%FSB±2LSB±1.5%FSB
±4LSB
4) 適配器工作電源:220V±10%, f=50Hz±4%,PW≤5W,或電池供電
5) 外形尺寸:W×H×L=18cm×7.5cm×13cm
凈 重:≤0.5kg
雙電測四探針測試儀 型號:KDB-3
KDB-3雙組合測試儀是根據標準SEMI MF1529設計,雙組合測試方法使用四探針的方式不同于其他ASTM測量半導體電阻率或薄層電阻的方法。在本測試方法中,在測試樣品的每個測量位置上,以兩種不同的方式(配置)將探針連接到提供電流和測量電壓的電路中。四探針的這種使用法通常被稱為“雙配置”或“配置切換”測量。單組合四探針相比,用較小間距的探針頭就可以進行高精度的測量,從而可獲得更高的晶片薄層電阻變化的空間分辨率。
儀器特點如下:
1、配有雙數字表:一塊數字表在測量顯示硅片電阻率的同時,另一塊數字表(以萬分之幾的精度)適時監(jiān)測全過程中的電流變化,使操作更簡便,測量更精確。
數字電壓表量程:0—199.99mV 靈敏度:10μV 輸入阻抗:1000ΜΩ
基本誤差±(0.04-0.05%讀數+0.01%滿度)
2、可測電阻率范圍:10—4 —1.9×104Ω·cm。
可測方塊電阻范圍:10—3 —1.9×105Ω/□。
3、設有電壓表自動復零功能,當四探針頭1、4探針間未有測量電流流過時,電壓表指零,只有1、4探針接觸到硅片,測量電流渡過單晶時,電壓表才指示2、3探針間的電壓(即電阻率)值;同樣,當四探針頭1、3探針間未有測量電流流過時,電壓表指零,只有1、3探針接觸到硅片,測量電流渡過單晶時,電壓表才指示2、4探針間的電壓(即電阻率)值,避免空間雜散電波對測量的干擾。
4、流經硅片的測量電流由高度穩(wěn)定(萬分之五精度)的特制恒流源提供,不受氣候條件的影響,整機測量精度<3%。
電流量程分五檔:10μA、100μA、1mA、10mA、100mA。
5、儀器采用觸點電阻更低(<5mΩ)、使用壽命更長的轉換開頭及繼電器(>10萬次),在緣電阻、電流容量方面留有更大的安全系數,提高了測試儀的可靠性和使用壽命。
6、可選配軟件進行數據采集,可進行雙組合或單組合測量,實現(xiàn)自動切換電壓檔位、讀取相應電壓值,根據不同方法計算電阻率或方塊電阻值;軟件可對測量數據進行分析,如平均值,zui大值、zui小值、zui大百分變化率、平均百分變化率、徑向不均勻度等內容。
7、可配KDDJ-3電動測試架,自動上下運行,使測量更方便快捷。
8、四探針頭采用上良好的紅寶石軸套導向結構,使探針的游移率減小,測量重復性提高
雙電測數字式四探針測試儀型號: ST2263
概述
ST2263型雙電測數字式四探針測試儀是運用直線或方形四探針雙位測-改進形范德堡測量方法測試電阻率/方阻的多用途綜合測量儀器。該儀器設計符合單晶硅物理測試方法標準并參考美國 A.S.T.M 標準。利用電流探針、電壓探針的變換,進行兩次電測量,對數據進行雙電測分析,自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應以及探針不等距和機械游移等因素對測量結果的影響,它與單電測直線或方形四探針相比,大大提高精確度,特別是適用于斜置式四探針對于微區(qū)的測試。
ST2263型雙電測數字式四探針測試儀成套組成:由主機、選配的四探針探頭、測試臺以及PC軟件等部分組成。 北京同德創(chuàng)業(yè) 專業(yè)鑄造品質
ST2263型雙電測數字式四探針測試儀主要由精密恒流源、高分辨率ADC、嵌入式單片機系統(tǒng)組成,USB通訊接口。儀器主機所有參數設定、功能轉換全部采用數字化鍵盤和數碼開關輸入;具有零位、滿度自校功能;測試功能可自動/手動方式;儀器操作可由配套軟件在PC機上操作完成,也可脫PC機由四探針儀器面板上獨立操作完成。測試結果數據由主機數碼管直接顯示,也可連機由軟件界面同步顯示、分析、保存和打??!
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探頭選配:根據不同材料特性需要,探頭可有多款選配。有高耐磨碳化鎢探針探頭,以測試硅類半導體、金屬、導電塑料類等硬質材料的電阻率/方阻;也有球形鍍金銅合金探針探頭,可測柔性材料導電薄膜、金屬涂層或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上導電膜(ITO膜)或納米涂層等半導體材料的電阻率/方阻。換上四端子測試夾具,還可對電阻器體電阻、金屬導體的低、中值電阻以及開關類接觸電阻進行測量。
測試臺選配:一般四探針法測試電阻率/方阻配SZT-A或SZT-B或SZT-C或SZT-F型測試臺。 北京同德創(chuàng)業(yè) 專業(yè)鑄造品質
詳見《四探針儀器、探頭和測試臺的特點與選型參考》點擊進入
ST2263型雙電測數字式四探針測試儀具有測量精度高、靈敏度高、穩(wěn)定性好、智能化程度高、測量簡便、結構緊湊、使用方便等特點。
儀器適用于半導體材料廠器件廠、科研單位、高等院校對導體、半導體、類半導體材料的導電性能的測試,特別是適用于斜置式四探針對于微區(qū)的測試。
三、基本技術參數 北京同德創(chuàng)業(yè) 專業(yè)鑄造品質
3.1 測量范圍 北京同德創(chuàng)業(yè) 專業(yè)鑄造品質
電阻率:1×10-4~2×105 Ω-cm,分辨率:1×10-5~1×102 Ω-cm
方 阻:5×10-4~2×105 Ω/□,分辨率:5×10-5~1×102 Ω/□
電 阻:1×10-5~2×105 Ω ,分辨率:1×10-6~1×102 Ω
3.2 材料尺寸(由選配測試臺決定和測試方式決定)
直 徑:SZT-A圓測試臺直接測試方式 Φ15~130mm,手持方式不限
SZT-B/C/F方測試臺直接測試方式180mm×180mm,手持方式不限.
長(高)度:測試臺直接測試方式 H≤100mm, 手持方式不限.
測量方位: 軸向、徑向均可
3.3. 4-1/2 位數字電壓表:
(1)量程: 20.00mV~2000mV
(2)誤差:±0.1%讀數±2 字
3.4 數控恒流源
(1)量程:0.1μA,1μA,10μA,100µA,1mA,10mA,100mA,1A
(2)誤差:±0.1%讀數±2 字
3.5 四探針探頭(選配其一或加配全部)
(1)碳化鎢探針:Φ0.5mm,直線探針間距1.0mm,探針壓力: 0~2kg 可調
(2)薄膜方阻探針:Φ0.7mm,直線或方形探針間距2.0mm,探針壓力: 0~0.6kg 可調
3.6 電源 北京同德創(chuàng)業(yè) 專業(yè)鑄造品質
輸入: AC 220V±10% ,50Hz 功 耗:<20W
3.7 外形尺寸:
主機 220mm(長)×245 mm(寬)×100mm(高)
方塊電阻 電阻率四探針測試儀
產品名稱:溶解氧分析儀 便攜式溶解氧檢測儀 產品型號:JPB-607 |
溶解氧分析儀 便攜式溶解氧檢測儀 型號:JPB-607
儀器特點:
帶有自動溫度補償
3 1/2位 液晶顯示
響應時間快
技術指標:
1、 測量范圍:溶解氧0-20mg/L,溫度0-40℃
2、 精確度:溶解氧±0.3 mg/L(校準溫度與測量溫度相同)
±0.5 mg/L(校準溫度與測量溫度相差±10℃時)
溫度:±1℃
3、 殘余電流:溶解氧不大于0.15 mg/L(±1個字)
4、 響應時間:不大于30秒(20℃時90%響應)
5、 儀器的穩(wěn)定性:±0.2 mg/L±1個字/1h
6、 自動溫度補償范圍:0-40℃(自動)
7、 重量:0.3KG
8、 外形尺寸:165*72*35mm
9、 使用條件: 環(huán)境溫度 0-40℃ 相對濕度 不大于90%
被測樣品溫度 0-40℃ 供電電源 9F22型9伏電池一節(jié)