BALLUFF位移傳感器，巴魯夫傳感器，巴魯夫位移傳感器
只要是有定周期的曲線簇重疊起來，便會產(chǎn)生莫爾條紋。計量光柵在實際應(yīng)用上有透射光柵和反射光柵兩種；按其作用原理又可分為輻射光柵和相位光柵；按其用途可分為直線光柵和圓光柵。下面以透射光柵為例加以討論?！⊥干涔鈻懦呱暇鶆虻乜逃衅叫械目叹€即柵線，a為刻線寬，b為兩刻線之間縫寬，W=a+b稱為光柵柵距。目前國內(nèi)常用的光柵每毫米刻成10、25、50、100、250條等線條。光柵的橫向莫爾條紋測位移，需要兩塊光柵。塊光柵稱為主光柵，它的大小與測量范圍相*；另塊是很小的塊，稱為指示光柵。為了測量位移，必須在主光柵側(cè)加光源，在指示光柵側(cè)加光電接收元件。當(dāng)主光柵和指示光柵相對移動時，由于光柵的遮光作用而使莫爾條紋移動，固定在指示光柵側(cè)的光電元件，將光強(qiáng)變化轉(zhuǎn)換成電信號。由于光源的大小有限及光柵的衍射作用，使得信號為脈動信號。如圖 1，此信號是直流信號和近視正弦的周期信號的疊加，周期信號是位移x的函數(shù)。每當(dāng)x變化個光柵柵距W，信號就變化個周期，信號由b點變化到b’點。由于bb’=W，故b’點的狀態(tài)與b點狀態(tài)*樣，只是在相位上增加了2π。編輯本段信號處理辨向原理BALLUFF位移傳感器，巴魯夫傳感器，巴魯夫位移傳感器
在實際應(yīng)用中，位移具有兩個方向，即選定個方向后，位移有正負(fù)之分，因此用個 光電元件測定莫爾條紋信號確定不了位移方向。為了辨向，需要有 π/2相位差的兩個莫爾條紋信號。如圖2，在相距1/4條紋間距的位置上安放兩個光電元件，得到兩個相位差π/2的電信號u01和u02，經(jīng)過整形后得到兩個方波信號u01’和u02’。光柵正向移動時u01超前u02 90度，反向移動時u02超前u01 90度，故通過電路辨相可確定光柵運動方向。
隨著對測量精度要求的提高，以柵距為單位已不能滿足要求，需要采取適當(dāng)?shù)拇胧δ獱枟l紋進(jìn)行細(xì)分。所謂細(xì)分就是在莫爾條紋信號變化個周期內(nèi)，發(fā)出若干個脈沖，以減少脈沖當(dāng)量。如個周期內(nèi)發(fā)出n個脈沖，則可使測量精度提高n備，而每個脈沖相當(dāng)于原來柵距的1/n。由于細(xì)分后計數(shù)脈沖頻率提高了 n倍，因此也稱n倍頻。 　　通常用的有兩種細(xì)分方法：其、直接細(xì)分。在相差1/4莫爾條紋間距的位置上安放兩個光電元件，可得到兩個相位差90o的電信號，用反相器反相后就得到四個依次相差90o的交流信號。同樣，在兩莫爾條紋間放置四個依次相距1/4條紋間距的光電元件，也可獲得四個相位差90o的交流信號，實現(xiàn)四倍頻細(xì)分。其二、電路細(xì)分。編輯本段集成電路　　四倍頻集成電路同時具有辨相和四倍頻細(xì)分的功能，可將兩路正交的方波進(jìn)行四倍頻后產(chǎn)生兩路加、減計數(shù)信號，可送雙時鐘可逆計數(shù)器進(jìn)行加、減計數(shù)，也可直接送微型計算機(jī)（包括單片機(jī)）進(jìn)行數(shù)據(jù)處理。 　　1、特點： 　?、拧?shù)字化微分電路：4路微分信號脈寬由主頻周期決定，因此，是*的，而且可在很大范圍里方便地選擇。