MET ONE R4800 和 R4900 系列遠(yuǎn)程空氣顆粒計(jì)數(shù)器經(jīng)濟(jì)實(shí)惠,可靠性高,能提供顆粒監(jiān)測(cè)系統(tǒng)的精確數(shù)據(jù)。緊湊的設(shè)計(jì),靈活的粒徑、流量和通信解決方案選項(xiàng),可滿足制藥,半導(dǎo)體,硬盤驅(qū)動(dòng)器和平板顯示器行業(yè)對(duì)潔凈室監(jiān)測(cè)的特定需求。
貝克曼庫爾特MET ONE R4800/R4900遠(yuǎn)程空氣顆粒計(jì)數(shù)器 |
MET ONE R4800 和 R4900 系列遠(yuǎn)程空氣顆粒計(jì)數(shù)器經(jīng)濟(jì)實(shí)惠,可靠性高,能提供顆粒監(jiān)測(cè)系統(tǒng)的精確數(shù)據(jù)。緊湊的設(shè)計(jì),靈活的粒徑、流量和通信解決方案選項(xiàng),可滿足制藥,半導(dǎo)體,硬盤驅(qū)動(dòng)器和平板顯示器行業(yè)對(duì)潔凈室監(jiān)測(cè)的特定需求。 |
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遠(yuǎn)程空氣計(jì)數(shù)器 | MET ONE R4800 及 R4900 系列
- 易于同任意FMS系統(tǒng)集成
MET ONE R4800 系列遠(yuǎn)程空氣顆粒計(jì)數(shù)器采用標(biāo)準(zhǔn)的 RS -485 串行通信,MET ONE R4900 系列遠(yuǎn)程空氣顆粒計(jì)數(shù)器則使用工業(yè)標(biāo)準(zhǔn) 4-20mA 接口。
- 靈活方便,可用于所有的遠(yuǎn)程空氣顆粒計(jì)數(shù)器應(yīng)用
靈敏度范圍從 0.3 um 到 0.5 um,流速范圍從 0.1cfm 到 1.0cfm。計(jì)數(shù)器上的 LED 狀態(tài)指示燈可閃爍并可在連接器處設(shè)置信號(hào)用于報(bào)警。駐留有 RS-485 組態(tài)編程(計(jì)數(shù)時(shí)間,保持時(shí)間,告警級(jí)別,告警延遲和縮放),通過電源周期保持(電源的開和關(guān))。
-簡便安裝選項(xiàng)
小型不銹鋼外殼適應(yīng)于大多數(shù)制程環(huán)境。因?yàn)椴粠в袝?huì)破壞氣流的風(fēng)扇,使 MET ONE R4800/R4900 系列空氣顆粒計(jì)數(shù)器可放置在zui接近敏感的制程區(qū)域。
產(chǎn)品參數(shù)
zui小粒徑 | R4803 / R4903 - 0.3um R4805 / R4815/ R4905 / R4915 - 0.5um | 流速 | R4803 / R4805 / R4903 / R4905 - 0.1 CFM (2.83 LPM) R4815 / R4915 - 1.0 CFM (28.3 LPM) | 流量控制 | 扼流噴嘴;要求 18" ***柱真空,zui低 450 mbar | 通道粒徑(μm) | R4803 / R4903 –通道 1 / 通道2 - 0.3 / 0.5 R4805 / R4815 / R4905 / R4915 – 通道 1 / 通道2 - 0.5 / 5.0 | 光源 | 激光二極管(10年MTTF) | 符合損失 | 在2,000,000顆/立方英尺濃度時(shí)低于5%的損失 | 入口壓力 | 0.1'' Hg 真空 | 指示燈 | 計(jì)數(shù)器接通電源時(shí)LED電源燈會(huì)亮;當(dāng)傳感器校正需要檢查時(shí)校正/報(bào)警的LED燈會(huì)亮 當(dāng)計(jì)數(shù)值超出報(bào)警值時(shí)校正/報(bào)警燈會(huì)閃爍 | 電源 | 開集電極 FET zui大反向電流 (on) 150 mA;zui大 VC 電壓 (off) 30 VDC | 連接器 | DB-15 (female) | 重量 | 0.3 公斤(10.7盎司) | 管路連接 | 入口,0.1 CFM,1/8"內(nèi)徑 入口,1.0 CFM,1/4"內(nèi)徑 出口,全部(真空),1/4"內(nèi)徑 | 儲(chǔ)存環(huán)境 | 運(yùn)行溫度:12 ~ 41°C (55 ~ 104°F) 相對(duì)濕度:20 ~ 95%,無冷凝 存儲(chǔ)溫度:-40 ~ 70°C (-40 ~ 122°F) 相對(duì)濕度:0 ~ 98%,無冷凝 | 訂貨時(shí),請(qǐng) | 0.3 μm (R4803/R4903) 或 0.5 μm (R4805/R4815/R4905/R4915) 和 0.1 cfm (R4803/R4805/R4903/R4905) 或 1.0 cfm (R4815/R4915) |
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