產(chǎn)品概述：
Agilent B1500A 半導(dǎo)體器件分析儀是一款具有十槽配置的模塊化儀器，支持 IV 和 CV 測(cè)量以及快速高壓脈沖。其熟悉的 Microsoft ® Windows ® 用戶界面支持安捷倫的 EasyEXPERT 軟件，該軟件提供了一種新的、更直觀的面向任務(wù)的設(shè)備表征方法。由于具有極低電流、低電壓和集成電容測(cè)量能力，Agilent B1500A 可用于廣泛的半導(dǎo)體器件表征需求（IC-CAP 支持 B1500A）。它也是非易失性存儲(chǔ)單元表征和高速器件表征（包括高級(jí) NBTI 測(cè)量）的出色解決方案。
Agilent B1500A 的特性和優(yōu)勢(shì)包括：
IV 測(cè)量性能：0.1 fA / 0.5 µV 測(cè)量分辨率
測(cè)量功能包括單通道和多通道掃描、時(shí)間采樣、列表掃描、準(zhǔn)靜態(tài) CV（使用 SMU）、HV-SPGU 的直接控制和任意線性波形生成 (ALWG) GUI。
可選的集成電容模塊支持高達(dá) 5 MHz 的 CV 測(cè)量
可選的基于定位器的 CV-IV 開關(guān)解決方案具有 0.5 µV 電壓測(cè)量分辨率和 10 fA、1 fA 或 0.1 fA 電流測(cè)量分辨率能力
通過內(nèi)置半自動(dòng)晶圓探針驅(qū)動(dòng)器和測(cè)試序列輕松實(shí)現(xiàn)測(cè)試自動(dòng)化，無需通過快速測(cè)試模式進(jìn)行編程
可選的高壓半導(dǎo)體脈沖發(fā)生器單元 (HV-SPGU) 具有 10 ns 可編程脈沖寬度和 +/- 40 V（80 V 峰峰值）輸出。
可選的波形發(fā)生器/快速測(cè)量單元 (WGFMU) 具有 ALWG 和快速電流或電壓測(cè)量功能。
10 ns 脈沖 IV 解決方案可用于表征高 k 柵極電介質(zhì)和 SOI（絕緣體上硅）晶體管。
經(jīng)典測(cè)試模式可用于提供 4155/4156 界面的外觀、感覺和術(shù)語(yǔ)，同時(shí)通過充分利用 Microsoft ® Windows ® GUI 功能增強(qiáng)用戶交互
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