主要特性與技術(shù)指標(biāo)
- 適用于 高 k/SOI 脈沖 IV 表征的*解決方案
- 精確的 Id-Vd 和 Id-Vg 測(cè)量
- 選通脈寬zui小值是 10 ns，上升和下降時(shí)間為 2 ns
- 1 µs 電流測(cè)量分辨率
- 在直流測(cè)量和脈沖測(cè)量之間輕松切換
- 支持的分析儀：B1500A、E5270B、E5260A、E5262A、E5263A、4155/56C 和 4155/56B
描述
脈沖 IV 參數(shù)測(cè)試逐漸成為進(jìn)行半導(dǎo)體制程開發(fā)和半導(dǎo)體器件測(cè)試的一項(xiàng)常見要求。zui近幾年，在更良好制程不斷發(fā)展的推動(dòng)下，用戶對(duì)精確脈沖 IV 測(cè)量的需求不斷增加。為了滿足這些需求，是德科技推出了多種脈沖 IV 參數(shù)測(cè)試解決方案。它們提供更廣泛的脈寬、電壓/電流輸出和性能。
Keysight B1542A 10 ns 脈沖 IV 參數(shù)測(cè)試解決方案的脈寬范圍是 10 ns 至 1 ms，非常適合對(duì)采用高 k 柵介質(zhì)材料構(gòu)成的 MOSFET 或在 SOI 晶圓上裝配的 MOSFET 進(jìn)行表征。該脈沖 IV 解決方案允許您使用脈寬為 10 ns、上升和下降時(shí)間為 2 ns 的脈沖信號(hào)（速度非常快），且信號(hào)的過沖和下沖非常低。
該解決方案由電纜、附件和軟件組成。如果您擁有其中一款是德科技脈沖發(fā)生器或示波器，您可以利用它們來降低整體成本。該解決方案集成了是德科技參數(shù)分析有或參數(shù)解決方案（B1500A、E5260A/E5270B 系列、4155C 4156C、4155B 和 4156B）。
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