Keithley 4200-SCS半導(dǎo)體表征系統(tǒng)配備了嵌入式基于Windows®的操作系統(tǒng),同時(shí)具有集成的DVD/CD-RW驅(qū)動(dòng)器,允許高容量備份和數(shù)據(jù)傳輸。Keithley 4200-SCS是模塊化,可配置和可升級(jí)的,提供四個(gè)核心測(cè)量模塊,可在九個(gè)儀器插槽中混合和匹配,并配置多達(dá)七個(gè)額外的smu。
精確的直流電流-電壓(I-V)測(cè)量是完整表征計(jì)劃的基礎(chǔ)
交流阻抗,包括電容電壓(C-V)技術(shù),提供的信息超過(guò)了單獨(dú)的直流電所能提供的信息
脈沖和瞬態(tài)測(cè)試增加了一個(gè)時(shí)域維度,并允許探索動(dòng)態(tài)特性
高達(dá)9個(gè)精度的直流源測(cè)量單元可以提供電壓或電流,測(cè)量0.1 fA至1a和1 μV至210 V的電壓或電流
使用4210-CVU多頻C-V模塊進(jìn)行交流阻抗測(cè)試,測(cè)試頻率從1 kHz到10 MHz
脈沖和瞬態(tài)測(cè)量可以使用4225-PMU Ultra-Fast I-V模塊進(jìn)行
兩種不同的數(shù)字示波器模塊的選擇,使數(shù)字化波形簡(jiǎn)單,高效