開爾文探針(Kelvin Probe)是一種非接觸無損震蕩電容裝置，用于測(cè)量導(dǎo)體材料的功函數(shù)(Work Function)或半導(dǎo)體、絕緣表面的表面勢(shì)(Surface Potential)。

材料表面的功函數(shù)通常由zui上層的1-3層原子或分子決定，所以開爾文探針是一種zui靈敏的表面分析技術(shù)。

我們的開爾文探針系統(tǒng)包括：

□單點(diǎn)開爾文探針(大氣環(huán)境及氣氛控制環(huán)境)；

□掃描開爾文探針(大氣環(huán)境及氣氛控制環(huán)境)；

□超高真空(UHV)開爾文探針；

□濕度控制的腐蝕開爾文探針；

掃描開爾文探針系統(tǒng) (ASKP)

ASKP系統(tǒng)是一款可以被大多數(shù)客戶所接收的掃描開爾文探針系統(tǒng)，它是在SKP基礎(chǔ)之上包括了彩色相機(jī)/TFT顯示器、2毫米和50微米探針、外部數(shù)字示波鏡等配置，其規(guī)格如下：

□2毫米，50微米探針；

□功函數(shù)分辨率 1-3 meV(2毫米針尖)，5-10 meV(50微米針尖)；

□針尖到樣品表面高度可以達(dá)到400納米以內(nèi)；

□表面勢(shì)和樣品形貌3維地圖；

□探針掃描或樣品掃描選配；

□彩色相機(jī)、調(diào)焦鏡頭、TFT顯示器和專業(yè)的光學(xué)固定裝置；

□參考樣品(帶相應(yīng)的掃描開爾文探針系統(tǒng)的形貌)；

□備用的針尖放大器；

□24個(gè)月超長質(zhì)保期；

儀器的特色

□*臺(tái)商用的*意義上的開爾文探針系統(tǒng)；

□zui高分辨率的功函數(shù)和表面勢(shì)，的穩(wěn)定性和數(shù)據(jù)重現(xiàn)性；

□非零技術(shù)(Off-null,ON) ——ON信號(hào)探測(cè)系統(tǒng)在高信號(hào)水平下工作，與基于零信號(hào)原理(null-based,LIA)的系統(tǒng)相比，不會(huì)收到噪聲的影響擁有高靈敏度；

□高度調(diào)節(jié)技術(shù) ——我們的儀器在測(cè)量和掃描時(shí)可以控制針尖的高度。因?yàn)楣瘮?shù)受樣品形貌的影響，針尖與樣品表面距離的調(diào)節(jié)意味著數(shù)據(jù)的高重現(xiàn)性且不會(huì)漂移；

□該領(lǐng)域內(nèi)，擁有的信噪比；

□快速響應(yīng)時(shí)間 ——測(cè)量速度在0.1-10秒間，遠(yuǎn)快于其他公司產(chǎn)品；

□功能強(qiáng)的驅(qū)動(dòng)器 ——選用Voice-coil(VC)驅(qū)動(dòng)器，與通常的壓電驅(qū)動(dòng)器相比，VC驅(qū)動(dòng)器頻率要穩(wěn)定得多、控制的針尖振幅大得多、支持平行多探針操作、支持不同直徑探針操作；

□所有開爾文探針參數(shù)的全數(shù)字控制；