當(dāng)前位置:HORIBA科學(xué)儀器事業(yè)部>>輝光放電光譜儀>> Profiler HRProfiler HR射頻輝光放電光譜儀
GD-Profiler HR射頻輝光放電光譜儀擁有*的超高光譜分辨率,為解決復(fù)雜基體中的疑難問題提供了適宜、便利的方法。
GD-Profiler HR射頻輝光放電光譜儀技術(shù)參數(shù):
1、射頻發(fā)生器-標(biāo)準(zhǔn)配置、復(fù)合D級(jí)標(biāo)準(zhǔn)、穩(wěn)定性高、濺射束斑為平坦、等離子體穩(wěn)定時(shí)間短、表面信息無任何失真。
2、脈沖工作模式既可以分析常規(guī)的涂/鍍層和薄膜,也可以很好地分析熱導(dǎo)性能差和熱易碎的涂/鍍層和薄膜。
3、Polyscan多道(同時(shí))光譜儀可全譜覆蓋,光譜范圍從110nm-800nm,可測(cè)試遠(yuǎn)紫外元素C、H、O、N和Cl。
4、HORIBA的原版離子刻蝕全息光柵保證了儀器擁有zui大的光通量,因而擁有的光效率GD敏度。
5、高動(dòng)態(tài)檢測(cè)器(HDD)可快速、高靈敏地檢測(cè)ppm-100%含量的元素。動(dòng)態(tài)范圍為5×1010。
6、寬大的樣品室方便各類樣品的加載。
7、功能強(qiáng)大的Quantum軟件可以靈活方便的輸出各種格式的檢測(cè)報(bào)告。
8、HORIBA*的單色儀(選配)可大的提高儀器的靈活性,可實(shí)現(xiàn)固定通道外任意一個(gè)元素的同步測(cè)試,稱為n+1。
9、適用于ISO14707和16962標(biāo)準(zhǔn)。
10、GD-Profiler HR多色儀焦距為1米,光譜分辨率可達(dá)14pm,zui多可同時(shí)分析58種元素。
11、GD-Profiler HR可選配焦距為1米的單色儀,zui高光譜分辨率達(dá)9pm。