WGL光電輪廓儀 介紹
1 WGL光電輪廓儀獲2007年BCEIA金獎(jiǎng)，2007年度優(yōu)秀產(chǎn)品獎(jiǎng)，2006-2007年度科學(xué)儀器優(yōu)秀新產(chǎn)品獎(jiǎng)。號：ZL200610148202.6。
2 WGL光電輪廓儀采用非接觸、光學(xué)相移干涉測量方法，測量時(shí)不損傷工件表面，能快速測得各種工件表面微觀形貌的立體圖形，并分析計(jì)算出測量結(jié)果。
3 WGL光電輪廓儀適用于測量各種量塊、光學(xué)零件表面的粗糙度，標(biāo)尺、度盤的刻線深度，光柵的槽形結(jié)構(gòu)鍍層厚度和鍍層邊界處的結(jié)構(gòu)形貌，磁（光）盤、磁頭表面結(jié)構(gòu)測量，硅片表面粗糙度及其上圖形結(jié)構(gòu)測量等等。
4 WGL光電輪廓儀測量精度高，重復(fù)性好，具有非接觸和三維測量等特點(diǎn)，并采用計(jì)算機(jī)控制和快速分析、計(jì)算測量結(jié)果。
5 WGL光電輪廓儀適用于各級測試、計(jì)量研究單位，工礦企業(yè)計(jì)量室，精密加工車間和高等院校及科學(xué)研究單位等。
WGL光電輪廓儀 主要特點(diǎn)
6 儀器由倒置式改為正置式，更符合人們的操作習(xí)慣；
7 應(yīng)用CMOS代替CCD，省去圖象卡并提高了質(zhì)量；
8 用低壓電源代替高壓電源，節(jié)省了儀器成本；
9 用國產(chǎn)的代替德國進(jìn)口壓電陶瓷，解決了關(guān)鍵部件的進(jìn)口難題；
10 增加了自動(dòng)步距和亮度校正程序，同時(shí)增加了局部放大三維立體圖功能。
WGL光電輪廓儀 技術(shù)參數(shù)
· 表面微觀不平深度測量范圍：在連續(xù)表面上,相鄰二象素之間沒有大于1/4波長的高度突變時(shí)：1000nm～1nm；相鄰二象素之間含有大于1/4波長的高度突變時(shí)：130nm～1nm；
· 測量的重復(fù)性：δRa≤0.5nm；
· 物鏡倍率：40×；數(shù)值孔徑：0.65；工作距離：0.5mm；
· 儀器視場：目視Φ0.25mm，攝象0.13×0.13mm；
· 儀器放大倍數(shù)：目視500×，攝象（計(jì)算機(jī)屏幕觀察）～2500×；
· 接收器測量列陣：1000×1000，象素尺寸：5.2×5.2μm；
· 測量時(shí)間/采樣（掃描）時(shí)間：1s；
· 儀器標(biāo)準(zhǔn)鏡：反射率（高）～50%，反射率（低）～4%；
· 照明光源：白熾燈6V 5W；
· 綠色干涉濾光片波長：λ=530nm，半寬度λ=10nm；
· 主顯微鏡升程：110mm；
· 工作臺升程：5mm；
· X、Y方向移動(dòng)范圍：～10mm；
· 工作臺旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)范圍：360°；
· 工作臺傾斜范圍：±6°；
· 操作系統(tǒng)：WGL軟件，Windows XP或2000系統(tǒng)；
· 電源：220V±22V，50Hz±1Hz；
· 外形尺寸：主機(jī)300mm×300mm×500mm，電源180mm×280mm×200mm；
· 儀器凈重：28kg。
產(chǎn)品相關(guān)關(guān)鍵字： 輪廓儀 WGL 光電輪廓儀
