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使用范圍：

S48 300/HMT 質(zhì)量流量計(jì) 廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、分析、化工、環(huán)境等行業(yè)的氣流測量與控制。

1.2 質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計(jì)

質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller 縮寫為MFC)，具備流量測量和流量控制兩種功能。

質(zhì)量流量計(jì)(Mass Flow Meter 縮寫為MFM)，只有流量測量功能，不具備氣流控制功能。

1.3 S48 300/HMT質(zhì)量流量計(jì) 的特點(diǎn)

☆ S48 300/HMT型質(zhì)量流量計(jì) 是在引進(jìn)HORIBA STEC技術(shù)基礎(chǔ)上，結(jié)合國內(nèi)需要而研制的一種數(shù)字式質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品，采用當(dāng)今*的32位ARM系列處理器做數(shù)字控制。具有流量精度高、線性好、零漂小、氣流響應(yīng)速度快、過沖小等特點(diǎn)。

☆ RS232/485串口， Modbus（RTU）開放協(xié)議。協(xié)議簡單可靠，兼容性強(qiáng)，易于組網(wǎng)。配合上位機(jī)，可進(jìn)行各種復(fù)雜的計(jì)量、控制操作及組態(tài)。

☆耐壓高及適用于真空條件下工作。氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。氣阻較小，工作壓力范圍寬。

☆主體采用不銹鋼（316L）結(jié)構(gòu)，氣密材料采用PTFE、氟橡膠等。耐腐蝕性強(qiáng)。

☆可任意角度安裝。

☆兼容數(shù)字和模擬控制及顯示，使用方便。易于與電氣或自動(dòng)控制系統(tǒng)配合。配合MT-50或51系列流量顯示儀，可對氣流的瞬時(shí)流量進(jìn)行精確測量和計(jì)量。

     S48 300/HMT數(shù)字流量控制器技術(shù)指標(biāo)

4.2 訂貨規(guī)范

在訂貨時(shí)應(yīng)指明是質(zhì)量流量控制器還是質(zhì)量流量計(jì)，指明S48 300/HMT產(chǎn)品型號，流量規(guī)格，使用氣體種類，管接頭種類。

例如：MFC(或MFM)-S48 300/HMT(產(chǎn)品型號)  500mL/min(流量規(guī)格) N2(氣體種類) Φ6(管路接頭)