色譜分析一直是氣體質(zhì)量控制的重要手段之一，但5N及以上純度的高純、超純氣體和電子工業(yè)用氣體的分析是色譜分析的難點(diǎn)。不僅樣品中要檢測(cè)的雜質(zhì)種類多，而且含量很低，而且空分產(chǎn)品中的雜質(zhì)容易被空氣成分污染，需要長(zhǎng)期吹掃更換。電子工業(yè)所用氣體具有易吸附性、腐蝕性、在水中結(jié)晶、在水中變化特性等特性。
氦離子氣相色譜儀就是針對(duì)上述問題研制的。產(chǎn)品采用全新工業(yè)設(shè)計(jì)，配備超高靈敏度脈沖放電氦電離檢測(cè)器，將被測(cè)成分的響應(yīng)提高到ng/g級(jí)（10-9）；采用超低泄漏率的卡套或VCR接頭連接進(jìn)樣閥和吹掃保護(hù)氣路，有效隔離樣品與空氣，避免空氣污染；真空負(fù)壓取樣系統(tǒng)不僅可以大大減少樣品的更換次數(shù)，而且可以避免電子工業(yè)所用氣體中與水接觸的SiCl4、HF和SiH4的輻射和結(jié)晶；EP級(jí)管線和經(jīng)過特殊處理的色譜柱支架的應(yīng)用，避免了樣品吸附對(duì)分析的影響。
氦離子氣相色譜儀采用由多個(gè)吹掃進(jìn)樣閥和多個(gè)色譜柱組成的多閥多柱的中心切割和反吹分離技術(shù)。通過色譜工作站設(shè)定的時(shí)間程序自動(dòng)控制取樣、切換、切割和反吹過程。一臺(tái)儀器可實(shí)現(xiàn)高純氮?dú)狻⒏呒儦鍤?、高純氧氣、高純氦氣、高純氫氣的分離分析高純二氧化碳、氪氣、氙氣等高純空分氣體和霓虹燈；還可針對(duì)電子工業(yè)中使用的三氟化氮、六氟化硫、六氟化鎢、三氯化硼、氯化氫、磷、硼、砷、硅、鍺烷等氣體制定具體的分析方案。
氦離子氣相色譜儀內(nèi)部設(shè)計(jì)了三個(gè)獨(dú)立的連接流程，可連接本地處理（實(shí)驗(yàn)室現(xiàn)場(chǎng)）、單位主管（如質(zhì)檢科長(zhǎng)、生產(chǎn)廠長(zhǎng)等）和上級(jí)主管（如環(huán)保局、技術(shù)監(jiān)督局等），使人員可以方便地監(jiān)控儀器運(yùn)行情況，實(shí)時(shí)分析數(shù)據(jù)結(jié)果。
1、儀器配備5.7英寸真彩顯示屏，顯示清晰、音色優(yōu)雅、大氣；
2、系統(tǒng)有中英文兩套操作系統(tǒng)，可自由切換；
3、溫控區(qū)域可由用戶自由命名，方便用戶使用；
4、儀器采用模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，設(shè)計(jì)清晰，更換升級(jí)方便，保護(hù)投資效益。
