產品簡介
詳細介紹
校正的基本原理
標準粒子(如 0.301um )通過 255 粒子產生器由液狀霧化成氣體,并由其內置泵通過 0.2um 的過濾器后的干燥氣體進入取樣管路,這時,將兩臺相同塵埃粒子計數器同時或先后對取樣管進行抽樣測試,并比校 0.3um 粒徑的測試值。如果其平均值在 20% 以內,認為合格。如果不同型號的粒子計數器,一定要弄清楚其流速,取樣時間,取樣次數等參數,并且,還要明白怎樣理解其測試結果。
三 . 校正的基本步驟:
現假設對一臺常見的 Metone227B 作校正
• 首先,要清楚 Metone3413 和 Metone227B 有何差別,其測試原理一樣,但 Metone3413 流速為 1CFM (立方英尺 / 分鐘),而 Metone227B 則為 0.1CFM 。
• 首先,請將潔凈臺開機,工作半小時,其間內也打開 Metone227B 和 Metone3413 ,讓其預熱半小時。
• 準備好 255 的取樣器管,并搭接好其所有氣體管路。
• 將配好的標準液(如 0.301um )放入脫原子瓶中,注意勿讓液體超過噴嘴。
• 設置 Metone3413 和 Metone227B 的基本參數
• 取樣時間都設置為 00 : 01 : 00
• 取樣次數都設置 03
• 取樣模式都設置為 Auto
• 間隔時間都設置為 00 : 00 : 05
• 讀數模式都設置為 Cumulative
注:以上設置相同,因其流速有 10 倍差,故 Metone3413 測試結果會是 Metone227B 的 10 倍。
• 此時,打開 255 電源,調節(jié)脫原子氣體閥和干燥氣體閥,在調至噴嘴閥處呈氣霧出現,干燥氣體流速計約 60SCFH 時后,保持其工作狀態(tài)。
• 此時,讓 Metone227B 和 Metone3413 同時工作,看其三次的平均結果,若在 20% 以內,視為合格。
• 拆下脫原子瓶,重新滴入其它標準粒子,重復該測試。
• 以上校正只是對比校正,尚可用萬用表對其基本參數測量,用示波器對其信號捕捉等來輔助調校。
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