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Met One標準粒子發(fā)生裝置 255

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更新時間:2015-09-24 09:00:21瀏覽次數:417

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產品簡介

氣體塵埃粒子計數器的校正程序 ? 校正所需設備 ? 100 級潔凈房或潔凈臺 ? 一臺用于作對比,尚在校正期內的塵埃粒子計數器,如 Metone3400 ? 各粒徑的標準粒子,如 0.3um ; 0.5um ; 1um 等等 ? 標準粒子氣體產生器,如 Model 255 ? 可產生脫離水( DI 水)的純水系統或類似裝置 ? 其它普通電器,如 220V 電源插座,萬用表等等

詳細介紹

氣體塵埃粒子計數器的校正程序 • 校正所需設備 • 100 級潔凈房或潔凈臺 • 一臺用于作對比,尚在校正期內的塵埃粒子計數器,如 Metone3400 • 各粒徑的標準粒子,如 0.3um ; 0.5um ; 1um 等等 • 標準粒子氣體產生器,如 Model 255 • 可產生脫離水( DI 水)的純水系統或類似裝置 • 其它普通電器,如 220V 電源插座,萬用表等等

 

校正的基本原理

標準粒子(如 0.301um )通過 255 粒子產生器由液狀霧化成氣體,并由其內置泵通過 0.2um 的過濾器后的干燥氣體進入取樣管路,這時,將兩臺相同塵埃粒子計數器同時或先后對取樣管進行抽樣測試,并比校 0.3um 粒徑的測試值。如果其平均值在 20% 以內,認為合格。如果不同型號的粒子計數器,一定要弄清楚其流速,取樣時間,取樣次數等參數,并且,還要明白怎樣理解其測試結果。

三 . 校正的基本步驟:

現假設對一臺常見的 Metone227B 作校正

•  首先,要清楚 Metone3413 和 Metone227B 有何差別,其測試原理一樣,但 Metone3413 流速為 1CFM (立方英尺 / 分鐘),而 Metone227B 則為 0.1CFM 。

•  首先,請將潔凈臺開機,工作半小時,其間內也打開 Metone227B 和 Metone3413 ,讓其預熱半小時。

•  準備好 255 的取樣器管,并搭接好其所有氣體管路。

•  將配好的標準液(如 0.301um )放入脫原子瓶中,注意勿讓液體超過噴嘴。

•  設置 Metone3413 和 Metone227B 的基本參數

•  取樣時間都設置為 00 : 01 : 00

•  取樣次數都設置 03

•  取樣模式都設置為 Auto

•  間隔時間都設置為 00 : 00 : 05

•  讀數模式都設置為 Cumulative

注:以上設置相同,因其流速有 10 倍差,故 Metone3413 測試結果會是 Metone227B 的 10 倍。

•  此時,打開 255 電源,調節(jié)脫原子氣體閥和干燥氣體閥,在調至噴嘴閥處呈氣霧出現,干燥氣體流速計約 60SCFH 時后,保持其工作狀態(tài)。

•  此時,讓 Metone227B 和 Metone3413 同時工作,看其三次的平均結果,若在 20% 以內,視為合格。

•  拆下脫原子瓶,重新滴入其它標準粒子,重復該測試。

•  以上校正只是對比校正,尚可用萬用表對其基本參數測量,用示波器對其信號捕捉等來輔助調校。

 

 

 

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