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1、測量精度  

盡管目前各家能量色散儀器（均為Si-PIN類型）生產(chǎn)商和銷售商都給出了很高的技術(shù)指標(biāo)，但在實(shí)際應(yīng)用中（特別在被測樣品不進(jìn)行處理的情況下），真正可以期待的準(zhǔn)確度都在200~300ppm之間（測量塑料中有害元素時(shí)，準(zhǔn)確度會(huì)好一些；對(duì)不規(guī)則樣品，則精度會(huì)更差）；波長色散X熒光分析儀的測量準(zhǔn)確度比能量色散類型要高一個(gè)數(shù)量級(jí)，基本在20~50ppm左右。  

2、測量時(shí)間  

由于波長色散配備較大功率的X光管，熒光強(qiáng)度高；因此，波長色散儀器占用較短的測量時(shí)，便能達(dá)到較高的測量精度。  

3、被測量樣品的要求  

由于技術(shù)特點(diǎn)的差異，波長色散X熒光分析儀需要對(duì)被測儀量樣品進(jìn)行簡單的處理；對(duì)固體樣品的一般處理方法是將被測量樣品表面打磨光滑，對(duì)粉末和其他樣品可以采用磨細(xì)后進(jìn)行粉末壓片法處理，相應(yīng)的設(shè)備市場上很容易找到。  

能量色散型儀器最大的優(yōu)勢在于：可以對(duì)樣品不作特別復(fù)雜的處理而直接進(jìn)行測量，對(duì)樣品也沒有任何損壞，適合直接用于生產(chǎn)的過程控制中；  

但需要強(qiáng)調(diào)指出的是：從熒光理論上，被測量樣品的預(yù)先處理是必須的，對(duì)于能量色散儀器來說，我們可以采取一些技術(shù)手段進(jìn)行校正來滿足實(shí)際生產(chǎn)控制的需要，但即使采用了技術(shù)校正的手段，對(duì)不規(guī)則樣品的直接測量也是以犧牲測量準(zhǔn)確度作為代價(jià)的。  

4、最佳應(yīng)用范圍  

由于波長色散和能量色散類型X熒光分析儀各自的技術(shù)特點(diǎn)，兩種類型儀器所側(cè)重的應(yīng)用方案也不盡相同；波長色散X熒光分析儀具有較高的測量精度，但同時(shí)需要對(duì)被測量樣品進(jìn)行簡單處理，更適用于進(jìn)廠原材料、半成品、成品的精確檢測和質(zhì)量控制；能量色散X熒光分析儀雖然測量精度稍差，但具有快速、直接測量各種形狀樣品的優(yōu)點(diǎn)，因此可直接在生產(chǎn)線上用于各種部件、電子元器件的檢測。  

5、能量分辨率  

能量分辨率是X熒光分析儀器的主要指標(biāo)，分辨率數(shù)值越小，分辨率越高，儀器性能越。  

6、熒光強(qiáng)度  

對(duì)于X熒光分析儀器來說，各元素含量與該元素的熒光強(qiáng)度成正比關(guān)系；熒光強(qiáng)度越高，則統(tǒng)計(jì)誤差越小，測量的準(zhǔn)確度越高，儀器性能越好。  

7、使用壽命  

波長色散類型儀器的使用壽命一般為10年以上；能量色散類型儀器的使用壽命一般也大于5年，影響能量色散型儀器壽命的主要因素是探測器部分老化導(dǎo)致其性能指標(biāo)變差。