便攜式電阻率測(cè)試儀是用來(lái)測(cè)量硅晶塊、晶片電阻率及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠等材料方塊電阻的小型儀器
產(chǎn)品名稱:
四探針電阻率測(cè)試儀 , 便攜式電阻率測(cè)試儀,電阻率測(cè)試儀
便攜式電阻率測(cè)試儀的簡(jiǎn)介:
1 、便攜式電阻率測(cè)試儀概述
四探針電阻率測(cè)試儀的 主要技術(shù)指標(biāo)
(1) 儀器采用GB/T 1552-1995硅、鍺單晶電阻率測(cè)定直排四探針?lè)?/span>
(2) 范圍:電阻率10-4~10+4歐姆·厘米,分辨率為10-4歐姆·厘米
方塊電阻10-3~10+5歐姆/□,zui小分辨率為10-3歐姆/□
(3) 可測(cè)量材料:半導(dǎo)體材料硅鍺棒、塊、片、導(dǎo)電薄膜等
可準(zhǔn)確測(cè)量的半導(dǎo)體尺寸:直徑≥20㎜
可測(cè)量的半導(dǎo)體尺寸:直徑≥8㎜
(4) 測(cè)量方式:平面測(cè)量。
(5)電壓表:雙數(shù)字電壓表,可同時(shí)觀察電流、電壓變化
A.量程0~199.99 mV
B.基本誤差±(0.004%讀數(shù)+0.01%滿度)
C.輸入阻抗﹥1000MΩ
D. 4 1/2位數(shù)字顯示,0~19999
(6) 恒流源:
A.電流輸出:直流電流0.003~100 mA連續(xù)可調(diào),有交流電源供給
B.量程:10uA,100uA,1 mA,10 mA,100 mA五檔
C.恒流源精度:各檔均≤±0.05%
(7) 四探針測(cè)試探頭
A.探頭間距1.59㎜
B.探針機(jī)械游率:±0.3%
C.探針直徑0.8㎜
D.探針材料:碳化鎢,探針間及探針與其他部分之間的絕緣電阻大于109歐姆。
(8) 便攜式電阻率測(cè)試儀手動(dòng)測(cè)試架:
JCKDJ-1A 型手動(dòng)測(cè)試架探頭上下由手動(dòng)操作,可以用作斷面單晶棒和硅片測(cè)試,探針頭可上下移動(dòng)距離:120mm,測(cè)試臺(tái)面200x200(mm)。
(9) 便攜式電阻率測(cè)試儀測(cè)量軟件:
JCKDY測(cè)量系統(tǒng)微控制器及配套軟件于硅晶體的電阻率測(cè)量,集多種測(cè)量方法為一體,是與JCKDY-1電阻率測(cè)試儀配套使用,自動(dòng)獲取電壓讀數(shù),計(jì)算并修正電阻率值,數(shù)據(jù)自動(dòng)保存,快速查詢,提供打印及數(shù)據(jù)導(dǎo)出到Excel中,操作簡(jiǎn)單,方便可靠。
(10 ) 四探針電阻率測(cè)試儀精度
電器精度:1-1000歐姆≤0.3 %
整機(jī)測(cè)量精度:1-500歐姆·厘米≤3%
(11)電流:220V±10%,50HZ,功率消耗﹤35W
北京精誠(chéng)華泰儀表有限公司
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