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掃描式電鏡的儀器說明介紹

閱讀:636      發(fā)布時(shí)間:2017-9-5
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掃面電鏡儀器介紹:

掃描電子顯微鏡(SEM)是1965年發(fā)明的較現(xiàn)代的細(xì)胞生物學(xué)研究工具,主要是利用二次電子信號成像來觀察樣品的表面形態(tài),即用極狹窄的電子束去掃描樣品,通過電子束與樣品的相互作用產(chǎn)生各種效應(yīng),其中主要是樣品的二次電子發(fā)射。

電鏡的分辨本領(lǐng)以它所能分辨的相鄰兩點(diǎn)的zui小間距來表示,是電鏡的重要指標(biāo)。顯微鏡的分辨本領(lǐng)可根據(jù)0.6λ/sinα求出,其中α為透過樣品后電子束錐角之半,λ是波長??梢姽獾牟ㄩL約為300~700納米,而電子束的波長加速電壓有關(guān)。當(dāng)加速電壓為 50~100千伏時(shí)λ 約為0.0053~0.0037納米。由于電子束的波長遠(yuǎn)遠(yuǎn)小于可見光的波長,即使電子束的錐角僅為光學(xué)顯微鏡的1%,電鏡的分辨本領(lǐng)仍遠(yuǎn)遠(yuǎn)優(yōu)于光學(xué)顯微鏡。

掃描式電鏡(Scanning electron microscope,SEM),電子束不穿過樣品,僅在樣品表面掃描激發(fā)出次級電子。放在樣品旁的閃爍晶體接收這些次級電子,通過放大后調(diào)制顯像管的電子束強(qiáng)度,從而改變顯像管熒光屏上的亮度。顯像管的偏轉(zhuǎn)線圈與樣品表面上的電子束保持同步掃描,這樣顯像管的熒光屏就顯示出樣品表面的形貌圖像,這與工業(yè)電視機(jī)的工作原理相類似。掃描式電鏡的分辨率主要決定于樣品表面上電子束的直徑。放大倍數(shù)是顯像管上的掃描幅度與樣品上掃描幅度之比,可從幾十倍連續(xù)地變化到幾十萬倍。掃描式電鏡的主要特點(diǎn)是:①不需要很薄的樣品;②圖像有很強(qiáng)的立體感;③能利用電子束與物質(zhì)相互作用而產(chǎn)生的次級電子,吸收電子和X射線等信息分析物質(zhì)成分。
  掃描式電鏡的電子槍和聚光鏡與透射式電鏡的大致相同,但是為了使電子束更細(xì),在聚光鏡下又增加了物鏡和消像散器;在物鏡內(nèi)部還裝有兩組互相垂直的掃描線圈。物鏡下面的樣品室內(nèi)裝有可以移動、轉(zhuǎn)動和傾斜的樣品臺。

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